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PA-6G六維慣性電機組臺
特點：
小尺寸，高精度
使用場所：
光纖對準，小空間多自由度調整，光學腔室，真空環境。
| 型號 | X軸 | Y軸 | Z軸 | θX | θY | θZ |
| 行程 | 25mm | 25mm | 20mm | ±5° | ±2° | ±5° |
| 直線度 | ±3.5μm | ±3.5μm | ±3.5μm | / | / | / |
| 偏擺 | ±40″ | ±40″ | ±40″ | / | / | / |
| 俯仰 | ±20″ | ±20″ | ±20″ | / | / | / |
| 擺動 | / | / | / | ±10″ | ±10″ | ±10″ |
| 偏心率 | / | / | / | ±5μm | ±5μm | ±5μm |
| 分辨率 | 18nm | 18nm | 18nm | 0.001° | 0.001° | 0.2″ |
| 閉環重復定位精度 | ±100nm | ±100nm | ±150nm | ±0.005° | ±0.005° | ±1″ |
| 開環最小步進量 | 10nm | 10nm | 10nm | 0.001° | 0.001° | ±0.1″ |
| 閉環最小步進量 | 200nm | 200nm | 200nm | 0.005° | 0.005° | ±0.4″ |
| 端跳 | / | / | / | ±5μm | ±5μm | ±5μm |
| 速度 | 2mm/s | 2mm/s | 2mm/s | 15°/s | 3°/s | 3°/s |
| 負載 | 1kg | 1kg | 1kg | 1kg | 0.5kg | 0.5kg |
| 驅動方式 | 慣性電機 | 慣性電機 | 慣性電機 | 慣性電機 | 慣性電機 | 慣性電機 |
PA-6G尺寸圖
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