外置式高精度氣體配比器主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環境. 控制方式采用集成化模塊控制精度高抗干擾能力強根據客戶要求隨意修改
該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,采用 CS200 或 CS100 質量流量計,氣路管道采用 316 拋光管制作耐腐蝕性強.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連
接且不易泄漏

詳細介紹

外置式高精度氣體配比器 ：可選配七星各種系列流量計，觸摸屏控制調節不同時間不同流量氣體，操控簡單，

CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規模集成電路裝備設計的產品，該產品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統。

? 準確度采用設定點精度，產品精度可達±1.0% S.P.，響應時間≤ 0.5sec。

? CS300系列產品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產品工作的穩定性和準確性。

外置式高精度氣體配比器 技術資料

產品型號	KT-PCS4Z	KT-C4ZS
氣體通道	4進1出	4進1出
	可根據需求定制
產品類型	高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制
可選量程	20sccm-30slm(氣體量程根據客戶需要可選)
產品精度	高精度型±1％F.S	普通型±1％F.S
重復精度	高精度型±0.2% F.S	普通型±0.2% F.S
線性	高精度型±0.5% F.S.	普通型±1% F.S.
響應時間	高精度型≤2sec	普通型≤4sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
供電電源	~85-265VAC 50/60Hz
功耗	40W
進氣口壓	≤0.6MPa
連接管道	316不銹鋼管道
截止閥類型	電磁閥
單向閥開啟壓力	0.02Mpa
壓力顯示量程	0-0.6Mpa
控制方式	7寸觸摸屏智能調節
時間設定	0-32000分鐘
清洗功能	一鍵清洗
程序控制	5段可編程序(時間-流量隨意設定值)
壓力顯示	有（出氣壓力檢測且有壓力上限設置過壓切斷總輸出氣路）
氣體混合罐	有（內置不銹鋼擾流板氣體混合均勻）
氣體加熱	無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調）
流量累計	有（累計當前運行總流量）
可選進出氣口接頭形式	3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭
抗電磁干擾	有
外形尺寸	550x380x400mm
重量	18KG～20KG