一英寸高精度真空探針臺：主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。
該探針臺的承載臺為26X26mm不銹鋼臺面，臺面可升溫到-190~400℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中X方向調節范圍：0-13mm,y方向調節范圍：0-13mm；z方向調節范圍：0-13mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測
一英寸高精度真空探針臺主要技術要求
1． 類型：高低溫型：-190~400℃
2． 腔體材質：304不銹鋼
3． 腔體內尺寸：φ90x40mm
4． 腔體上視窗尺寸：Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
5． 腔體抽氣口：KF16
6． 腔體進氣口：公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
7． 腔體出氣口：公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
8． 腔體正壓：≤0.05MPa
9． 腔體真空度：機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
10． 樣品臺材質：304不銹鋼
11． 樣品臺尺寸：26X26mm
12． 樣品臺-視窗 距離：30mm（可選凹視窗間距15mm）
13． 樣品臺測溫傳感器：PT100鉑電阻
14． 樣品臺溫度：室溫到-190~350℃（可選高溫樣品臺 高溫400℃）
15． 樣品臺測溫誤差：±0.2℃
16． 樣品臺變溫速率：高溫10℃/min 低溫5℃/min
17． 溫度顯示：7寸人機界面
18． 溫控類型：標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
19． 溫度分辨率：0.1℃
20． 溫控精度：±0.5℃
21． 溫度信號輸入類型：PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶）
22． 溫控輸出：直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
23． 輔助功能：溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線
24． 電信號接頭：配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
25． 電學性能：絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
26． 探針數量：4探針（可定做6探針）
27． 探針材質：鍍金鎢針
28． 探針尖：10μm
29． X軸移動行程：12mm ±6mm
30． X軸控制精度：≤5μm
31． Y軸移動行程：12mm ±6mm
32． Y軸控制精度：≤5μm
33． Z軸移動行程：12mm ±6mm
34． Z軸控制精度：≤5μm
35． 顯微鏡類別：物鏡放大+電子放大
36． 顯微鏡放大倍數：100倍
37． 顯微鏡工作間距：50-150mm
38． 相機分辨率：1080P 60幀
39． 相機信號輸出：HDMI輸出+USB輸出
40． LED可調光源：LED光源
顯示屏：5寸 屏幕一體機
