CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設計的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。

? 準確度采用設定點精度，產(chǎn)品精度可達±1.0% S.P.，響應時間≤ 0.5sec。

? CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準確性。

外置式高精度氣體配比器鄭科探 技術參數(shù)

產(chǎn)品型號	KT-PCS4Z	KT-C4ZS
氣體通道	4進1出	4進1出
	可根據(jù)需求定制
產(chǎn)品類型	高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制
可選量程	20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選)
產(chǎn)品精度	高精度型±1％F.S	普通型±1％F.S
重復精度	高精度型±0.2% F.S	普通型±0.2% F.S
線性	高精度型±0.5% F.S.	普通型±1% F.S.
響應時間	高精度型≤2sec	普通型≤4sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
供電電源	~85-265VAC 50/60Hz
功耗	40W
進氣口壓	≤0.6MPa
連接管道	316不銹鋼管道
截止閥類型	電磁閥
單向閥開啟壓力	0.02Mpa
壓力顯示量程	0-0.6Mpa
控制方式	7寸觸摸屏智能調節(jié)
時間設定	0-32000分鐘
清洗功能	一鍵清洗
程序控制	5段可編程序(時間-流量隨意設定值)
壓力顯示	有（出氣壓力檢測且有壓力上限設置過壓切斷總輸出氣路）
氣體混合罐	有（內置不銹鋼擾流板氣體混合均勻）
氣體加熱	無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調）
流量累計	有（累計當前運行總流量）
可選進出氣口接頭形式	3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭
抗電磁干擾	有
外形尺寸	550x380x400mm
重量	18KG～20KG