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哈爾濱芯明天科技有限公司

新品推薦!芯明天閉環三維壓電螺釘運動平臺

時間:2023-2-9 閱讀:925
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此次為大家帶來一款閉環式、三維運動、壓電螺釘驅動的壓電運動平臺。使用過壓電螺釘運動平臺的用戶都會了解,一般情況下,這種運動平臺都是開環的,沒有閉環伺服控制傳感器。但考慮到用戶在大行程運動控制下對高精度的要求,芯明天專門設計、研發了XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺,該平臺配備了增量式編碼器,對運動行程、精度等可進行精確控制,且精度可達1.5μm。


圖片
芯明天XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺

特  點


XYZ三維運動
配有閉環增量式編碼器
行程±12.5mm/軸
納米級分辨率
精度達1.5μm

運動原理


XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是采用壓電螺釘驅動,壓電螺釘的運動是通過內部壓電陶瓷的微運動,驅動螺紋桿旋轉,從而沿著螺紋向前運動。螺紋桿的推動,使得載物移動平臺臺面的直線運動。

圖片

技術參數


產品設計的參數如下表所示。


型號
XYZ65N81E26
運動自由度
X
集成傳感器類型
增量式編碼器
標稱行程范圍
±12.5mm
速度
50μm/s
閉/開環分辨率
80nm
線性度
1.5μm
重復度
1.5μm
承載能力
1.5kg
工作溫度
0~50℃
質量(包含電纜)
2.61kg
材質
鋁、鋼
電纜長度
1.5m
推薦控制器
E53.D1E



產品實測數據


下方測試結果是在1.5kg負載、28.8℃溫度、31%濕度下測得。


運動軸
X
Y
Z
線性度
1.253μm
1.327μm
1.157μm
重復度
1.439μm
0.275μm
1.134μm
分辨率
80nm
80nm
80nm
運行速度
55.30μm/s
64.62μm/s
54.50μm/s



從測試結果中可看出,X、Y、Z三個方向的定位精度均可達到1.5μm以內。運動效果如下視頻所示。



注:視頻60倍率播放。



可定制參數、可定制真空版本


芯明天可根據用戶的參數要求定制壓電螺釘運動平臺,自由選擇一至三維運動版本,自由選配增量式編碼器。此外,可定制真空兼容版本,真空度可達10^-6mbar以上。
圖片

應  用


XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是三維直線運動版本,因其大行程及高精度的特點,非常適用于半導體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計量、工業精密定位等領域。

配套控制器


XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺采用芯明天自研生產的E53.D1E壓電伺服控制器,可通過串口與上位機進行連接通信,通過上位機軟件,對壓電螺釘運動平臺進行運動的控制,可設置運動速度等參數。
圖片

其他壓電螺釘運動平臺


圖片

更多關于壓電螺釘運動平臺的信息,歡迎致電我們!

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