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哈爾濱芯明天科技有限公司

芯明天壓電納米運動產品在籠式結構光學系統中的應用

時間:2021-8-30 閱讀:1542
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近年來,隨著科學技術的不斷發展與進步,越來越多的研究領域對微納控制提出了更高的要求,壓電納米定位系統也實現了不斷的突破與創新。哈爾濱芯明天科技有限公司專注于納米級精密定位產品的研發、生產和銷售,可實現亞納米級分辨率及納米級定位精度。

芯明天壓電納米運動產品使用具有高可靠性的壓電陶瓷促動器,在特殊的環境下也能保證壓電陶瓷的穩定性,與傳統驅動機構相比,芯明天壓電運動平臺采用了柔性鉸鏈機構,具有無機械摩擦、響應速度快、重復定位精度高優點,柔性鉸鏈是一種不受靜態和動態摩擦影響的元件,柔性單元具有很高的剛度和承載能力,鉸鏈導向無需維護并且無磨損。

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目前公司產品已廣泛應用于半導體技術、光電子、通信與集成光學、光學儀器設備、醫療生物顯微設備、生命科學、精密加工設備、新藥設計與醫療技術、數據存儲技術、納米技術、納米制造與納米自動化、圖像處理等領域,并且在籠式結構中得到了廣泛的應用。

籠式結構

光學系統搭建中傳統的調整架非常的不方,傳統光學機械是無基準系統,而且無法判斷系統中元件之間的共軸誤差,很難搭建出符合設計要求的系統,所以新型的光學機械應運而生——籠式結構

籠式結構在光學平臺上搭建光學系統時,光軸是以光學平臺為基準參考的。系統中的元件利用機械加工的精度,保證了同軸,是有基準系統的。光軸、籠桿和光學平臺是平行的,是有基準的

芯明天壓電納米運動產品與籠式結構的集成

芯明天設計研發了專門應用于籠式結構光學系統的壓電運動產品,滿足直線與角度的調節,并且具有非常強的靈活性,可任意定制外形尺寸、結構,預留用于籠式結構安裝的孔徑使其非常易于集成到籠式結構中。下面是幾個芯明天產品集成于籠式結構的案例。

1.微納掃描

下方是芯明天的P76系列Z向壓電物鏡定位器集成于籠式結構中,進行單軸Z向的微納掃描,提供毫秒級快速響應及2.5nm的分辨率,可對樣品進行高精度的快速掃描。該結構中直接通過一個45度連接架將P76安裝于籠式結構中。

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2.表面等離子共振分析系統SPR

表面等離子共振技術,英文Surface Plasmon Resonance,簡寫為SPR,是從20世紀90年代發展起來的一種新技術,其應用SPR原理檢測生物傳感芯片(biosensor chip)上配位體與分析物之間的相互作用情況,廣泛應用于各個領域。

下方的籠式結構為表面等離子共振分析系統,由銳光凱奇公司搭建。該系統中采用了芯明天設計的P70.Z系列壓電納米定位臺。

P70.Z系列壓電納米定位臺可產生Z向8μm的行程,步進大小由電壓控制,步進分辨率可達0.6nm。

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 3.光鑷操作系統

下圖中為光鑷操作系統,也由銳光凱奇公司搭建。其中同樣采用了芯明天P70.Z系列壓電納米定位臺,用于精確調整經物鏡聚焦后的焦點與樣品間的距離,從而配合完成光鑷操作。

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 4.干涉移相

下圖中為芯明天定制設計的一款用于籠式結構的ZT50M14移相器,其中集成了二維手動調節鏡架,且預留了籠式結構安裝孔,并配備了芯明天M14系列壓電陶瓷促動器,在壓電促動器的移動端配有鏡片粘接面,用于納米級步進移動鏡面的位置,從而調節反射光的光程。

ZT50M14移相器的運動行程范圍由0~114μm范圍內自由選擇。

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 5.壓電偏轉鏡集成于籠式結構

下圖中為一款定制型壓電反射鏡,將芯明天S38壓電偏轉鏡安裝于90°轉角的連接適配架中,該S38壓電偏轉鏡采用定制設計螺紋移動端,并配備有鏡片固定安裝帽,可將鏡片直接固定于表面,易于鏡片安裝。該90°轉角適配器直接預留籠式結構安裝孔,可將壓電偏轉鏡直接集成于籠式結構,精確調整光的路徑,精度可達納弧度級。

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 6.壓電螺釘鏡片調節架集成于籠式結構

下圖中仍是芯明天設計的一款集成于籠式結構的反射鏡架,其中鏡片的二維調節是采用兩支芯明天N81直線壓電螺釘驅動,兩支壓電螺釘配合產生反射鏡片的偏轉運動,具有更大的偏轉角度,適于相對較大范圍的光路調整。

壓電螺釘的直線運動行程由芯明天E53.C4K壓電控制器輸出的電信號進行控制,調節速度更快、更便捷。

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 7白光干涉儀

下圖中為白光干涉儀的籠式結構,仍由銳光凱奇公司搭建。其中采用了芯明天封裝式壓電陶瓷促動器,用于納米步進移相調節。芯明天的壓電陶瓷促動器體積小、納米級高分辨率,成為白光干涉儀中高可靠性、高速的壓電移相器。

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 8邁克爾遜干涉儀

下圖中為銳光凱奇公司搭建的邁克爾遜干涉儀。其中一樣采用了芯明天封裝式壓電陶瓷促動器,用于納米步進移相調節。

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