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哈爾濱芯明天科技有限公司

芯明天壓電控制器可用來驅(qū)動什么產(chǎn)品?

時間:2018-5-16 閱讀:2012
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芯明天壓電控制器的原理是模擬PID控制(比例-積分-微分控制),以比例控制、積分控制為主。PID控制器是一個在工業(yè)控制應(yīng)用中常見的反饋回路部件,由比例單元P、積分單元I和微分單元D組成。PID控制的基礎(chǔ)是比例控制;積分控制可消除穩(wěn)態(tài)誤差,但也可能增加超調(diào);微分控制可加快大慣性系統(tǒng)響應(yīng)速度以及減弱超調(diào)趨勢等。

芯明天控制器的基本原理圖如下,每種產(chǎn)品間會略有不同。

 

以下簡單介紹幾種芯明天壓電控制器的應(yīng)用案例。

驅(qū)動壓電疊堆陶瓷

壓電疊堆陶瓷為鋯鈦酸鉛(PZT)材料,芯明天提供的疊堆陶瓷一般單支的高度從2mm至92mm可選,堆棧型壓電陶瓷疊堆單支的高度可達200mm。芯明天E53.A系列壓電陶瓷驅(qū)動電源可用于驅(qū)動PZT壓電疊堆陶瓷,在E53.A驅(qū)動下,可使得壓電疊堆陶瓷在高度方向產(chǎn)生1‰~2‰(微米量級)的位移,且使其步進的分辨率達皮米量級。

 

 

驅(qū)動控制壓電移相器

壓電移相器是移相干涉儀中非常重要的部件。芯明天壓電控制器可調(diào)節(jié)壓電移相器驅(qū)動鏡片的位置,使之做平行直線運動,改變參考光的光程,從而在物光和參考光之間引入相移量。使用芯明天壓電控制器調(diào)節(jié)壓電式移相器,具有分辨率高、響應(yīng)速度快、易于控制、性能穩(wěn)定等特點。

 

壓電變形鏡主要用于各種自適應(yīng)光學系統(tǒng)之中,它由很多單元組合而成。相同尺寸的壓電變形鏡,單元數(shù)越多,可調(diào)節(jié)的面形越好。芯明天壓電變形鏡控制器的通道數(shù)可達百通道,每通道可驅(qū)動控制壓電變形鏡的一個單元,zui多可控制單元數(shù)達150個,可使得單個單元的面形變化速度達亞毫秒級、定位的分辨率可達亞微弧度。

控制微進給快速刀具

在精密和超精密車削中,尺寸公差的控制關(guān)鍵在于橫向微進給裝置的精度。芯明天E01壓電控制器可用于調(diào)節(jié)壓電式快速微進給刀具定位器,且微進給運動的分辨率可達5nm甚至亞納米級。

 

 

 

控制物鏡的焦點位置

例如,在晶圓切割過程中,需要通過物鏡對激光進行聚焦,芯明天壓電控制器通過輸出電壓信號,對物鏡的Z向位置進行調(diào)節(jié),從而對激光聚焦后的焦點進行Z向位置調(diào)節(jié)。

超聲壓電陶瓷的應(yīng)用非常廣泛,如超聲清洗、超聲馬達等。芯明天高頻壓電控制器可驅(qū)動超聲壓電陶瓷,zui大頻率可達24MHZ,輸出電壓可達800V。

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