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哈爾濱芯明天科技有限公司

芯明天壓電納米定位技術助力中國芯片產(chǎn)業(yè),加速“中國芯”!

時間:2018-5-10 閱讀:2321
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 哈爾濱芯明天科技有限公司專注于壓電納米定位技術近二十載,已發(fā)布眾多的壓電式直線及角度超精密定位產(chǎn)品,并不斷進行技術改進,目前直線定位產(chǎn)品定位精度可達亞納米級,角度定位產(chǎn)品的定位精度可達納弧度級,重復度可達0.02%F.S.

?哈爾濱芯明天科技有限公司作為中國的一個生產(chǎn)制造企業(yè),正在并將持續(xù)不斷改進我們的技術,提高產(chǎn)品的精度及質量,助力于中國芯片產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展!

芯明天壓電定位產(chǎn)品之壓電物鏡定位器

壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設計的,采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計,物鏡補償量較小,具有超高聚焦穩(wěn)定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片進行聚焦,顯著提高定位精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

利用芯明天壓電物鏡定位器進行激光加工

?芯明天壓電物鏡定位器具有Z向納米級定位精度,它的主要應用之一就是激光加工,例如晶圓切割。物鏡將激光束進行聚焦,通過壓電物鏡定位器調整激光束加工點的位置,調整精度為納米級,且速度可達亞毫秒。

?

激光加工之晶圓切割

?

激光經(jīng)過透鏡聚焦,再利用芯明天壓電物鏡定位器調整焦點的位置,使焦點準確的定位在晶圓待切割部位,使被切割部位溫度急速升高,然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動,在切割材料上形成連續(xù)切割點從而達到切割的目的。

?芯明天壓電物鏡定位器部分參數(shù):

型號

聚焦范圍

[μm]

分辨率

[nm]

zui大承載

[g]

類型

P72.Z100

110

2.5

200

小體積

P73.Z500

550

7

400

大行程

P76.Z100

110

2.5

500

大負載

安裝結構

為了更方便的更換物鏡,安裝座分別通過獨立的轉接件與顯微鏡和物鏡進行連接。壓電物鏡定位器通過螺紋適配器安裝于顯微鏡與物鏡間。轉接件可選M38×0.75、M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,同時芯明天也接受定制螺紋適配器。

 

芯明天壓電物鏡定位器可裝配多種品牌、尺寸物鏡

多種螺紋牙尺寸可選,可配置不同品牌的物鏡,也可選擇螺紋牙轉接器進行轉接。螺紋尺寸可定制。

芯明天壓電物鏡定位器其他應用舉例

白光干涉

白光干涉技術以可見光為光源,光源發(fā)出的白光通過干涉物鏡后在半透射光學平面反射一半光強,另一半光強透射后照射在量測物表面并反射再次進入干涉物鏡,與原光學平面的反射光產(chǎn)生干涉。搭配芯明天壓電物鏡定位器,準確性高可達納米解析度,垂直掃描高度可達550μm。

原子力顯微鏡

 

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原子力探針的針部置于干涉顯微鏡的光軸上,產(chǎn)生干涉條紋由CCD接收,當樣件移動時,表面高度變化,引起原子力探針的變化,其變化量由白光干涉條紋計量。當原子力探針的變化量超過預定閾值,探針拉回原位,實現(xiàn)原子力探針的跟蹤測量。

?差動式聚焦檢測系統(tǒng)

差動式聚焦檢測系統(tǒng)中,一束很強的匯聚激光投影到工件之上,聚焦鏡通過壓電物鏡定位器可垂直移動,其移動量由焦點誤差信號控制,焦點誤差信號探測它對真實表面的距離變動。當激光經(jīng)工件轉換并傳遞時,聚焦鏡通過反饋系統(tǒng)維持與工件的距離,該反饋系統(tǒng)是從像檢測器到由壓電物鏡定位器控制的聚焦鏡的一個轉換回路,聚焦鏡的運動量表示所測表面的粗糙度數(shù)值。

顯微光學成像

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顯微光學成像,通常也稱“光學顯微成像”,或“光學顯微術”(Optical Microscopy,或Light Microscopy),是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光,通過一個或多個透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術。壓電物鏡定位器可帶動物鏡頭做Z向超精密運動,可使觀測精度達納米級。

 

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