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壓電偏擺 / 旋轉(zhuǎn)臺系列

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壓電偏擺 / 旋轉(zhuǎn)臺
壓電偏擺 / 旋轉(zhuǎn)臺系列是通過壓電陶瓷驅(qū)動進(jìn)行精密角度調(diào)整,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計,確保了產(chǎn)品具有較高的偏轉(zhuǎn)精度和穩(wěn)定性,且響應(yīng)速度快,非常適于激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整應(yīng)用。
S20 系列壓電旋轉(zhuǎn)臺
S20 系 列 壓 電 旋 轉(zhuǎn) 臺 為 一 維 θz 旋 轉(zhuǎn) 臺, 中 心 通 孔 孔 徑 為20mm,體積小巧結(jié)構(gòu)緊湊,旋轉(zhuǎn)角度可達(dá) 0.5mrad,承載能力達(dá)4kg。
S21.R3S/K 壓電旋轉(zhuǎn)臺
S21.R3S 壓電旋轉(zhuǎn)臺是一維 θz 運(yùn)動的壓電納米定位臺,它的外形結(jié)構(gòu)緊湊,非常易于集成。
S21.R7S/K 壓電旋轉(zhuǎn)臺
S21 系列壓電旋轉(zhuǎn)臺為一維 θz 旋轉(zhuǎn)臺,產(chǎn)品體積小巧,旋轉(zhuǎn)角度可達(dá) 7.5mrad,承載能力達(dá) 0.1kg,可帶載鏡片等做精密旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。
S50.U0C/K 系列壓電偏擺臺
S50.U0C/K 系列壓電偏擺臺,是一維 θx 偏轉(zhuǎn)臺,它是專為大負(fù)載應(yīng)用而設(shè)計,如模擬空間擾動應(yīng)用。 
S50.U0C/K 系列壓電偏擺臺的負(fù)載方式是側(cè)臥式,它的負(fù)載能力達(dá)7kg,100V 驅(qū)動電壓下的偏轉(zhuǎn)角度為 0.19mrad,對應(yīng)的閉環(huán)階躍時間為 17ms。
S50.U0C/K-D1 系列壓電偏擺臺
S50.U0C/K-D1 系列為一維 θx 軸偏擺的壓電偏擺臺,它的承載能力可達(dá) 60kg,偏轉(zhuǎn)角度為 ±0.25mrad。它采用電容式閉環(huán)傳感器,分辨率可達(dá) 10nrad,并可在 20kg 載荷下高頻率工作。它非常適于大負(fù)載偏擺運(yùn)動實驗,如空間擾動模擬等。
S50.UR0C/K 系列壓電偏擺 / 旋轉(zhuǎn)臺
S50.UR0C/K 系列為 θx、θz 軸偏擺 / 旋轉(zhuǎn)臺,承載能力可達(dá) 40kg,偏轉(zhuǎn)角度 ±0.25mrad。可帶載 20kg 負(fù)載高頻率使用。產(chǎn)品主要應(yīng)用于大負(fù)載偏擺 / 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動實驗,例如模擬空間擾動實驗等。
S50.UR0C/KA 系列壓電偏擺臺
S50.UR0C/KA 系列壓電偏擺臺是專為大負(fù)載應(yīng)用而設(shè)計,承載可達(dá) 5kg。它的閉環(huán)版本是采用電容式反饋傳感器,空載諧振頻率可達(dá) 1kHz。
S51.ZT0S/K-B 系列壓電偏擺臺
S51.ZT0S/K-B 系列壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺,可產(chǎn)生 θx、θy 兩軸偏轉(zhuǎn)及 Z 向直線運(yùn)動,中心具有大型通孔,適于透射光等應(yīng)用。
S51 系列壓電偏擺 / 升降臺
S51 系列是具有中心通孔的三維 θxθy 及 Z 軸運(yùn)動的壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。
S51.ZT2S/K-C1 系列壓電偏擺臺
S51.ZT2S/K-C1 系列壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺,可產(chǎn)生θx、θy兩軸偏轉(zhuǎn)及Z向直線運(yùn)動,中心具有大型通孔,適用透射光等應(yīng)用。
S54.T0S/K-B 系列壓電偏擺臺
S54.T0S/K-B 系列是客戶定制版壓電偏擺臺,可實現(xiàn) θx、θy 二維偏擺運(yùn)動。整體采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高。結(jié)構(gòu)緊湊,搭配大中心通孔設(shè)計,易于集成在顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。
S54.T0S/K-C 系列壓電偏擺臺
S54.T0S/K-C 系列壓電偏擺臺,可實現(xiàn) θx、θy 二維偏擺運(yùn)動。整體采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高。承載上限可達(dá) 8kg,適合大負(fù)載應(yīng)用。中心通孔達(dá) 200mm×200mm,適用透射光等應(yīng)用。
S54.T2 系列壓電偏擺臺
S54.T2 系列是具有中心通孔的二維 θxθy 軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm 中心通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。
H60 系列六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)
H60 系列六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu),是 θx、θy、θz、X、Y、Z 六軸運(yùn)動工作臺,通過六支壓電促動器的并聯(lián)協(xié)調(diào)伸縮實現(xiàn)空間內(nèi)六個自由度的運(yùn)動,臺體結(jié)構(gòu)緊湊,三種規(guī)格型號可供選擇,閉環(huán)型號定位精度更高,適用于六自由度微操作、微電子精密加工、檢測等應(yīng)用。
H61.XYZTR0 六軸壓電偏擺臺
H61.XYZTR0 壓電偏擺臺可產(chǎn)生六軸的超精密運(yùn)動,適用于靜態(tài)六軸的直線納米定位及角度納弧度偏轉(zhuǎn),中心具有50mm×50mm 的通孔,適于透射光應(yīng)用。
XD500.T0S/K-B 壓電偏擺臺
XD500.T0S/K-B 壓電偏擺臺為 θx、θy 二維偏轉(zhuǎn)的壓電偏擺臺,它的承載能力達(dá) 10kg,是專為大負(fù)載偏轉(zhuǎn)應(yīng)用而設(shè)計。
XD500.T4 系列壓電偏擺臺
XD500.T4 壓電偏擺臺是二維偏擺的運(yùn)動平臺,它的承載能力可達(dá) 1kg,大型移動臺面,適用于大型反射鏡的安裝及偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)。
XD502 系列壓電偏擺臺
XD502.ZT2S/K-B 系列壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺,可產(chǎn)生 θx、θy 兩軸偏轉(zhuǎn)及 Z 向直線運(yùn)動。它的承載能力可達(dá)5kg,閉環(huán)重復(fù)定位精度可達(dá) 0.006%F.S.,適用于各種高精度應(yīng)用領(lǐng)域。同時中心具有 55×55mm^2 的通孔,適用于透射光應(yīng)用。
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