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真空多維運動壓電馬達位移臺
在科技飛速發展的今天，精密運動控制領域不斷迎來創新突破。壓電產品作為精密運動的主力軍，以其**的工作原理和優秀性能，正逐漸在眾多領域嶄露頭角。今天，我們要為大家介紹的是一款多維真空壓電馬達——F21.N2E。
F21.N2E是一款二維運動壓電馬達，可進行X向直線運動和θx偏擺運動。X軸直線行程可達10mm，分辨率可達5nm，速度可達3mm/s，重復定位精度可達0.1μm；θx偏擺行程可達10°，分辨率可達1μrad，速度可達3°/s，重復定位精度達0.001°。可負載600g樣品進行運動，外觀結構設計緊湊，體積小巧，適用于各種高精度應用領域。
產品特點
X、θx二維運動行程大響應速度快閉環分辨率高真空兼容
典型應用
半導體：掃描電鏡（SEM）樣品操縱、原子力顯微鏡、大范圍電子束直寫（EBL）、光刻機、晶圓加工與檢測、探針臺等。
光學：激光通訊、激光加工、天文望遠鏡、光路調整、激光穩定、光纖對準、光學測試系統等。
生物與醫療：超分辨成像樣品移動、顯微及納米CT、細胞穿透、微計量配藥等。
芯明天多維度壓電馬達
技術參數
| 型號 | F21.N2E |
| 運動自由度 | X、θx |
| 傳感器 | 光柵傳感器 |
| θx偏擺部分 | |
| 運動自由度 | θx |
| 速度上限 | 3°/s |
| 行程范圍 | 10° 或±5° |
| 分辨率 | 1μrad |
| 線性度 | 0.01° |
| 重復定位精度 | 0.001° |
| 直線運動部分 | |
| 運動自由度 | X |
| 速度上限 | 3mm/s |
| 行程范圍 | 10mm或±5mm |
| 分辨率 | 5nm |
| 線性度 | 0.8μm |
| 重復定位精度 | 0.1μm |
| 整體 | |
| 承載能力 | 600g |
| 工作溫度范圍 | 0~40°C |
| 重量 | 200g（不含線及連接器） |
| 臺體材料 | 鋼、鋁 |
| 出線長 | 0.7m |
| 連接器 | DB15公座×2 |
配套控制器
由芯明天研發生產的E53.D1E-J壓電控制器非常適用于驅動F21.N2E系列壓電馬達，它是單通道壓電控制器，采用數字控制，24VDC供電，靜態功耗小于5W，通信接口為TYPE-C、RS-422、RS-232操作便捷，尺寸僅105×103×30.1mm^3，外觀體積小巧，結構緊湊，易于集成。
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