WALK行走原理的XYZ三維直線壓電馬達(dá)！行程達(dá)100mm!

時(shí)間：2022-10-20 閱讀：1296

N31系列直線壓電馬達(dá)是芯明天研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)及銷售的一款納米級(jí)精密運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品。它具有三個(gè)行程范圍可選，分別為25mm、50mm和100mm。可選配高精度光柵增量式編碼器作為傳感器，完成高精度的運(yùn)動(dòng)定位。

N31系列直線壓電馬達(dá)是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，利用類似人行走的驅(qū)動(dòng)原理，將壓電陶瓷的高頻微動(dòng)的微小位移轉(zhuǎn)換為直線壓電馬達(dá)平臺(tái)的大行程、高精度運(yùn)動(dòng)。該系列直線壓電馬達(dá)具有大出力、閉環(huán)誤碰后自動(dòng)歸位等優(yōu)點(diǎn)。

為滿足各種應(yīng)用中XYZ三維大行程、高精度位置調(diào)節(jié)的需求，芯明天基于N31系列直線壓電馬達(dá)專門設(shè)計(jì)了一款三維運(yùn)動(dòng)的大行程、高精度直線壓電馬達(dá)。它的外觀如下圖所示。

XYZ三維直線壓電馬達(dá)

該XYZ三維直線壓電馬達(dá)是基于三臺(tái)N31系列直線壓電馬達(dá)，XYZ三軸的行程分別為50mm、50mm、100mm。該產(chǎn)品經(jīng)過(guò)實(shí)測(cè)XYZ向的精度均在1μm以內(nèi)；運(yùn)動(dòng)速度可達(dá)4mm/s以上。

測(cè)試過(guò)程中，XYZ三維直線壓電馬達(dá)每軸的運(yùn)動(dòng)都是通過(guò)芯明天E71系列壓電伺服控制器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的，并通過(guò)配套上位機(jī)軟件進(jìn)行控制參數(shù)設(shè)置。

XYZ三維直線壓電馬達(dá)平臺(tái)測(cè)試中

測(cè)試結(jié)果

下述測(cè)試結(jié)果是在0.5kg負(fù)載、20.8℃溫度、31%濕度下測(cè)得。

項(xiàng)目	X向	Y向	Z向
行程	±25mm	±25mm	±50mm
線性度	0.526μm	0.942μm	1.377μm
重復(fù)度	0.645μm	0.611μm	0.681μm
分辨率	40nm	40nm	40nm
運(yùn)行速度	4.186mm/s	4.185mm/s	4.577mm/s

從上方參數(shù)中可看到，X、Y、Z向的運(yùn)動(dòng)重復(fù)度分別可達(dá)0.645μm、0.611μm、0.681μm，可滿足高精度的定位要求。運(yùn)動(dòng)效果如下方視頻展示。

注：1倍速播放

應(yīng)用

N31系列一至三維直線壓電馬達(dá)，因其高精度，非常適用于半導(dǎo)體測(cè)試、晶圓檢測(cè)、納米壓印、納米計(jì)量、工業(yè)精密定位等領(lǐng)域。

定制設(shè)計(jì)

若您有大行程、高精度的需求，歡迎致電我們，芯明天為您量身定制設(shè)計(jì)！



立即詢價(jià) 您留言后，廠商將第一時(shí)間為您服務(wù)！

*留言

標(biāo)題：: 請(qǐng)輸入你感興趣的產(chǎn)品

需求：: 請(qǐng)簡(jiǎn)單描述您的需求

請(qǐng)簡(jiǎn)單描述您的需求

限200字

上傳附件

*聯(lián)系人

*電話

單位

微信

同手機(jī)號(hào)

郵箱

省份

請(qǐng)選擇省份

請(qǐng)選擇省份
安徽
北京
福建
甘肅
廣東
廣西
貴州
海南
河北
河南
黑龍江
湖北
湖南
吉林
江蘇
江西
遼寧
內(nèi)蒙古
寧夏
青海
山東
山西
陜西
上海
四川
天津
新疆
西藏
云南
浙江
重慶
香港
澳門
臺(tái)灣
國(guó)外

*驗(yàn)證碼

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

提交后，默認(rèn)您同意《服務(wù)條款》和《隱私協(xié)議》

手机版av在线_96精品国产aⅴ在线观看_中文字幕35页_国产亚洲成AV人片在线观黄桃_全黄性色大片_免费视频h

哈爾濱芯明天科技有限公司

哈爾濱芯明天科技有限公司

WALK行走原理的XYZ三維直線壓電馬達(dá)！行程達(dá)100mm!

會(huì)員登錄

收藏該商鋪

提示