P54系列是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大透空孔方便集成于顯微及掃描等光學系統(tǒng)中。

   特點   

• θx,θy偏擺運動 

• 開環(huán)/閉環(huán)可選擇 

• 80×80mm大通孔 

• 分辨率高 

• 外形薄 

• 適于加速度/角速度傳感器標定

   θx,θy軸偏擺   

   應(yīng)用實例   

P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應(yīng)用于軍事激光武器等領(lǐng)域。

   閉環(huán)傳感精度高   

P54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺內(nèi)部柔性鉸鏈導向機構(gòu)采用有限元分析優(yōu)化，使角度偏移達到小，無空回、無摩擦。采用壓電陶瓷驅(qū)動實現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)范圍±1mrad，分辨率高達0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實現(xiàn)0.1%F.S.的重復定位精度。臺體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為80×80mm，P54壓電偏轉(zhuǎn)臺是亞微弧度精密光束調(diào)整、計量、定位等應(yīng)用的不錯選擇。

   負載大鏡片   

P54壓電偏轉(zhuǎn)臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透射光的應(yīng)用，負載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。

   頻率負載曲線   

   典型應(yīng)用   

• 光束掃描 

• 激光合束對準與激光致盲

• 干涉 / 計量 

• 空間擾動模擬系統(tǒng)

• 微操作 

• 掩模與晶片位置調(diào)整

   開環(huán)曲線   

   階躍時間  

   重復定位精度   

   推薦控制器   

   技術(shù)參數(shù)   

注：以上參數(shù)是采用 E00/E01 系列壓電控制器測得。驅(qū)動電壓范圍可在 -20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在0~120V。