納米壓印是一種全新的納米圖形復制方法，實質是將傳統的模具復型原理應用到微觀制造領域。它是通過將刻有目標圖形的母版壓印到相應的襯底（通常是一層很薄的聚合材料）上實現圖形轉移，以完成微納米加工的光刻步驟。納米壓印技術是制作納米結構的關鍵，具有廣闊的應用前景。

利用芯明天P18.XY300二維掃描臺，可帶動鍍膜鏡片在0~300μm的平面內對讀取的圖像信息進行優化，同時控制激光器及掃描臺，二者配合完成圖像的納米精度加工。

下圖為通過芯明天運動控制軟件操作二維壓電掃描臺，激光光刻的100μm×100μm圖標。

P18.XY300壓電掃描臺

P18.XY300為二維直線掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現375μm的高速掃描，運動直線性好，配套芯明天大功率控制器響應時間可達5ms，通光孔徑為Ø35mm，是精密加工、半導體制造、掃描顯微等應用的不錯選擇。

 特點

·位移可達375μm/軸

·承載達3kg

·通孔直徑：Ø35mm

·閉環重復定位精度高

階躍時間

單點定位應用，P18.XY300S帶載100g負載階躍時間60ms。

技術參數