壓電掃描臺P78.Z100-D1是專為生物醫(yī)療應(yīng)用而設(shè)計(jì)的用于樣品顯微掃描的壓電掃描臺，它的外形結(jié)構(gòu)易于集成于顯微儀器設(shè)備中。壓電掃描臺P78.Z100-D1的Z向運(yùn)動范圍可達(dá)110µm。

特點(diǎn)：

行程范圍可達(dá)110µm

Z向分辨率可達(dá)4nm   

承載能力可達(dá)1kg

通孔尺寸為120×70mm

高度僅25mm

應(yīng)用于Z向顯微掃描

應(yīng)用：

醫(yī)療顯微成像、生物技術(shù)、超分辨率顯微鏡、光學(xué)圓盤顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D成像、篩選、干涉測量、測量技術(shù)、自動聚焦系統(tǒng)、半導(dǎo)體測試等。

壓電掃描臺P78.Z100-D1對于納米范圍的對準(zhǔn)、納米聚焦、測量等應(yīng)用是非常理想的。它的高度僅25mm，中心具有120×70mm的通孔，可提供亞納米級分辨率的高精度運(yùn)動。

壓電掃描臺P78.Z100-D1可選配橋式配置的閉環(huán)傳感器，可消除溫度漂移，保證了納米范圍的定位穩(wěn)定性。

壓電掃描臺P78.Z100-D1的結(jié)構(gòu)經(jīng)過FEA建模仿真分析設(shè)計(jì)，無間隙、無摩擦，具有*的運(yùn)動精度。同時(shí)，通過FEA優(yōu)化了直線度與平面度，為運(yùn)動方向及垂直運(yùn)動方向上提供了較高的剛度。因其并聯(lián)運(yùn)動學(xué)的設(shè)計(jì)，將掃描臺的質(zhì)量盡可能縮小，使結(jié)構(gòu)更緊湊、響應(yīng)速度更快。

壓電掃描臺P78.Z100-D1匹配芯明天E53.D壓電控制器使用，使整個(gè)壓電顯微聚焦系統(tǒng)的體積非常小巧。可選擇閉環(huán)控制及上位機(jī)通信功能。

壓電掃描臺P78.Z100-D1技術(shù)參數(shù)

型號：P78.Z100-D1

運(yùn)動自由度：Z

行程范圍（-20~+150 V）：110µm

傳感器類型：SGS

通孔尺寸：120×70mm

閉/開環(huán)分辨率：7/4nm

閉環(huán)線性度：0.2%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

運(yùn)動方向推/拉力：120/15N

運(yùn)動方向剛度：1.5N/um

空載諧振頻率：200Hz

空載工作頻率(10%行程)：50Hz

承載能力：1Kg, max

靜電容量：5.4μF/軸

工作溫度范圍：-20~80℃

外形尺寸：154×136×25mm

壓電控制器E53.D技術(shù)參數(shù)

型號：E53.D

供電輸入電壓：24V（20V～30V）/1A

靜態(tài)功耗：<5W

處理器：32bit 168MHz

D/A轉(zhuǎn)換器：16bit

A/D轉(zhuǎn)換器：16bit

通信接口：USB，RS-422，RS-232

傳感器類型：SGS

伺服特性：模擬P-I+帶阻+低通

通道數(shù)：1 通道

標(biāo)稱模擬輸入范圍：0～10V

標(biāo)稱輸出電壓范圍：0～120V(可選0～150V)

電流：1A

平均電流：60mA

放大器帶寬：10kHz

紋波：10mVpp（加載2.2uF）

額定輸出功率：9W

工作溫度范圍：0至50℃

輸出短路電流：60mA

過流指示：平均電流超過60mA則過流指示燈亮

控制輸入連接器：SMB連接器

傳感輸出連接器：SMA連接器

PZT連接器：LEMO單芯

SENSOR連接器：LEMO四芯

通信連接器：DB9、MicroUSB

尺寸：130×80×27.5mm

重量：0.35kg

壓電掃描臺P78.Z100-D1與壓電控制器E53.D配套使用，非常適于空間受限的超分辨顯微掃描、成像應(yīng)用中。

應(yīng)用案例之顯微聚焦

利用芯明天壓電掃描臺P78.Z100-D1，可進(jìn)行樣品的顯微聚焦，提高成像的聚焦精度，可使成像更清晰，增加圖像的分辨率。P78.Z100-D1壓電掃描臺的聚焦速度可達(dá)亞毫秒量級，使得自動聚焦系統(tǒng)的聚焦速度更快。匹配E53.D系列壓電控制器，體積小巧，更易于集成。