滅菌設備的驗證是通過有關參數對滅菌方法進行可靠性驗證的。
1、D值
D值是指在一定溫度下，殺滅90%微生物（或殘存率為10%）所需的滅菌時間。在一定滅菌條件下，不同微生物具有不同的D值；同一微生物在不同滅菌條件下，D值亦不相同。因此D值隨微生物的種類、環境和滅菌溫度變化而異。
2、Z值
Z值是指滅菌時間減少到原來的1/10所需升高的溫度或在相同滅菌時間內，殺滅99%的微生物所需提高的溫度。
3、F值
F值為在一定溫度（T）下，給定Z值所產生的滅菌效果與在參比溫度（T0）下給定Z值所產生的滅菌效果相同時，所相當的滅菌時間，以min為單位。F值常用于干熱滅菌。
4、F0值
F0值為一定滅菌溫度（T）下，Z為10℃時所產生的滅菌效果與121℃，Z值為10℃所產生的滅菌效果相同時所相當的時間（min）。也就是說，不管溫度如何變化，t分鐘內的滅菌效果相當于在121℃下滅菌F0 分鐘的效果。F0目前僅應用于濕熱滅菌。
