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深圳市中圖儀器股份有限公司

白光干涉儀(光學(xué)輪廓儀):揭秘測(cè)量坑的形貌的利器!

時(shí)間:2023-10-18 閱讀:1150
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白光干涉儀廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究和工程實(shí)踐各個(gè)領(lǐng)域中。它作為一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器,在測(cè)量坑的形貌方面扮演著舉足輕重的角色。


白光干涉儀怎么測(cè)量坑的形貌?它是利用干涉現(xiàn)象,使用白光源照射物體,并將反射光經(jīng)過(guò)干涉儀的分光裝置后形成干涉圖樣。通過(guò)觀察干涉圖樣的變化,就可以獲得物體表面形貌的細(xì)節(jié)信息。


如何使用白光干涉儀來(lái)測(cè)量坑的形貌?在使用白光干涉儀測(cè)量坑的形貌時(shí),將白光干涉儀的出光口對(duì)準(zhǔn)坑樣的表面,調(diào)整儀器的焦距和位置,直到能夠得到清晰的干涉圖樣。然后,記錄下干涉圖樣的形狀和變化,最后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析,就可以得出坑的形貌信息。在使用白光干涉儀進(jìn)行測(cè)量的過(guò)程中,我們需要注意一些細(xì)節(jié):

1、保持儀器穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

在使用過(guò)程中,盡量避免外界干擾和震動(dòng),以確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

2、選擇適當(dāng)?shù)臏y(cè)量參數(shù)和條件。

根據(jù)不同的實(shí)際情況,可以調(diào)整白光干涉儀的參數(shù),如照射角度、光源強(qiáng)度等,以獲得更精確的測(cè)量結(jié)果。

圖片1.jpg


SuperViewW1白光干涉儀結(jié)合數(shù)字圖像處理技術(shù)和三維重建算法來(lái)提高測(cè)量的精度和效率,揭秘并測(cè)量坑的形貌,為科學(xué)研究和工程實(shí)踐提供更有力的支持:

1、SuperViewW1白光干涉儀可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,并可依據(jù)表面粗糙程度,選擇不同步距進(jìn)行速度調(diào)節(jié)。

圖片2.jpg


2、SuperView W1的復(fù)合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。在自動(dòng)拼接模塊下,只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),即可自動(dòng)掃描,重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。

圖片3.jpg


白光干涉儀在半導(dǎo)體封裝中對(duì)彈坑的測(cè)量


同時(shí),白光干涉儀還可以結(jié)合其他測(cè)量手段,如激光共聚焦顯微鏡等,以獲得更全面的形貌信息。(激光共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理,更容易測(cè)陡峭邊緣,擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè),雖在檢測(cè)分辨率上略遜,但成像圖色彩斑斕,便于觀察。)

圖片7.jpg


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