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閱讀：222發(fā)布時(shí)間：2022-10-5
MEMS加速度傳感器能夠測(cè)量加速度、傾斜、振動(dòng)或沖擊，因此可用于從可穿戴健身設(shè)備到工業(yè)平臺(tái)穩(wěn)定系統(tǒng)的各種應(yīng)用。MEMS加速度傳感器正用于傳統(tǒng)上由壓電MEMS加速度傳感器和其他傳感器主導(dǎo)的應(yīng)用。然而，有這么多加速度傳感器和這么多應(yīng)用，選擇合適的MEMS加速度傳感器很容易讓人感到困惑。那么，如何選擇適合的MEMS加速度傳感器？
1、傾角或傾斜感應(yīng)
關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)：偏置穩(wěn)定性、溫度偏移、低噪聲、可重復(fù)性、振動(dòng)校正、交叉軸靈敏度。
準(zhǔn)確的傾角或傾斜感應(yīng)是MEMS加速度傳感器的一項(xiàng)要求苛刻的應(yīng)用，尤其是在存在振動(dòng)的情況下。為了讓MEMS加速度傳感器有效地測(cè)量傾斜或傾角，必須充分了解傳感器性能和最終應(yīng)用環(huán)境。測(cè)量傾斜最重要的規(guī)格是溫度系數(shù)偏移、滯后、低噪聲、短期/長期穩(wěn)定性、可重復(fù)性和良好的振動(dòng)校正。
2、高溫和動(dòng)態(tài)環(huán)境
在可用于高溫或惡劣環(huán)境使用的MEMS加速度傳感器問世之前，一些設(shè)計(jì)人員被迫在遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出數(shù)據(jù)表限制之外使用傳感器。這意味著最終要承擔(dān)在高溫下對(duì)組件進(jìn)行鑒定的責(zé)任和風(fēng)險(xiǎn)，這既昂貴又耗時(shí)。密封封裝在高溫下很堅(jiān)固，并提供了防止導(dǎo)致腐蝕的濕氣和污染的屏障。
3、穩(wěn)定
關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)：噪聲密度、速度隨機(jī)游走、運(yùn)行中偏差穩(wěn)定性、偏差可重復(fù)性和帶寬。
由于運(yùn)動(dòng)的復(fù)雜性，有一大類穩(wěn)定應(yīng)用需要陀螺儀與MEMS加速度傳感器（傳感器融合）的組合，例如，在基于無人機(jī)的監(jiān)視設(shè)備和船上使用的天線指向系統(tǒng)。在穩(wěn)定應(yīng)用中，MEMS傳感器必須提供對(duì)平臺(tái)方向的準(zhǔn)確測(cè)量，尤其是在其運(yùn)動(dòng)時(shí)。最終應(yīng)用將決定所需的精度水平，以及選擇的傳感器質(zhì)量。
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