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產(chǎn)地	進(jìn)口	加工定制	否

島津分子泵TMP-2404/3304/4304mks的性能：

＊超聲波**清洗轉(zhuǎn)/定子葉片及腔體并烘干

＊更換了全套進(jìn)口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品

＊馬達(dá)線圈阻值測量,轉(zhuǎn)子定子間隙測量

＊根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調(diào)整測試動平衡至Ｇ0.16標(biāo)準(zhǔn)

＊測試0-27000rpm啟動時間<3分鐘

＊測試極限真空值<1.0*10－7mbar

＊持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場測試24小時

＊0-20KHz震動頻譜加速度分析

＊6000-27000rpm全轉(zhuǎn)速動平衡分析及校準(zhǔn)

＊Inficon UL1000氦質(zhì)譜檢漏儀測試分子泵的滲漏率小于2.0*10－9mbar*L/

島津分子泵TMP-2404/3304/4304mks的特點(diǎn)：

＊寬量程、大排量－可在廣闊的壓力范圍內(nèi)使用

＊電源裝置比前期型號尺寸縮小一半－能使配電盤的面板小型化

＊電源裝置不再使用蓄電池－電源裝置無需維護(hù)

＊加熱后真空度可達(dá)10-9Pa－能滿足超高真空和大抽速的需求

＊支持RS232C標(biāo)準(zhǔn)的連續(xù)通訊－可以對轉(zhuǎn)速、電流值進(jìn)行監(jiān)控，異常狀況可以早期發(fā)現(xiàn)

＊轉(zhuǎn)速可調(diào)機(jī)能－轉(zhuǎn)速可在25％～100％范圍內(nèi)調(diào)節(jié)

＊具有自我診斷功能－實(shí)現(xiàn)故障的早期發(fā)現(xiàn)

＊允許突然掉電的次數(shù)為260次－如果以1次/周即52次/年來計算，可使用5年無需保養(yǎng)

＊自由調(diào)整機(jī)能－同一機(jī)種的泵、電源裝置、電纜都可互換

＊可多方位安裝－提高了設(shè)備設(shè)計的自由度

風(fēng)冷普通型/化學(xué)型	TMP-203M/MC	TMP-303M/MC	TMP-403M/MC	TMP-803M/MC	TMP-1003M/MC	TMP-1103MP/MPC	TMP-2003M/MC
水冷普通型/化學(xué)型	TMP-203LM/LMC	TMP-303LM/LMC	TMP-403LM/LMC	TMP-803LM/LMC	TMP-1003LM/LMC	TMP-1103LMP/LMPC	TMP-1303LM/LMC	TMP-2003LM/LMC	TMP-2203LM/LMC	TMP-3203LM/LMC	TMP-4203LMC
(烘烤后)到達(dá)圧力(Pa)普通型	10-8	10-8	10-8	10-9	10-9	10-9	10-8	10-9	10-8	10-9
化學(xué)型	10-7	10-7	10-7	10-7	10-8	10-8	10-7	10-8	10-7	10-8	10-7
最大吸氣口壓力(Pa) 風(fēng)冷型	1.3	1.3	1.3	1.3	1.3	1.3	0.4
水冷型	200	200	200	400	400	70	133	67	40	40	10
最大排氣口壓力(Pa) 風(fēng)冷型	40	40	40	40	40	270	40
水冷型	400	400	400	665	665	800	270	270	270	270	270
排氣速度(L/s)
N2	190	320	420	800	1080	1080	1300	2000	2140	3200	4200
He	140	340	360	800	930	1040(對于Ar）	1050	1800	2000	3000	4000
H2	120	320	340	700	790	800	750	1600	1350	2400	2800
壓縮比
N2	109以上	109以上	109以上	109以上	109以上	109以上	6×108	109以上	1.4×108	109以上	8×108
He	6×104	8×104	8×104	8×104	8×104	107	1×104	7×105	1×104	3×105	1.8×105
H2	4×103	1×103	1×103	4×103	4×103	106	1×103	1.4×104	1×103	1×104	1.0×104
額定轉(zhuǎn)數(shù)（RPM）	50000	45000	45000	35000	35000	36000	30300	27000	24600	21000	18000
起動時間	5分以內(nèi)	5分以內(nèi)	5分以內(nèi)	5分以內(nèi)	5分以內(nèi)	5分以內(nèi)	7分以內(nèi)	9分以內(nèi)	11分以內(nèi)	13分	18分以內(nèi)
安裝方向	多方位	多方位	多方位	多方位	多方位	多方位	多方位	多方位	多方位	多方位	垂直方向
泵體吸氣口處烘烤溫度	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下	120℃以下
振動（島津自測）	0.012μm以下	0.012μm以下	0.012μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下	0.01μm以下
重量（Kg）	9	14	14	31	32	32	34	55	55	70	100
推薦氣體清掃流量（SCCM）	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30	20～30
前級泵抽速（氣體清掃時）	200L/min以上	200L/min以上	200L/min以上	500L/min以上	500L/min以上	500L/min以上	600L/min以上	500L/min以上	800L/min以上	1500L/min以上	1500L/min以上
容許環(huán)境溫度（℃）	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40	0～40
容許磁場密度
半徑方向	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT	3mT
軸方向	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT	15mT
冷卻水
流量（L/min）	1～3	1～3	1～3	1～3	1～3	1～3	1～3	1～3	1～3	2～4	2～4
水壓（Mpa）	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5	0.2～0.5
水溫（℃）	5～30	5～30	5～30	5～30	5～30	5～30	5～30	5～30	5～30	5～25	5～25
對應(yīng)電源裝置名稱	EI-D203M	EI-D303M	EI-D303M	EI-D1003M	EI-D1003M	EI-D1103M	EI-D1303M	EI-D2003M	EI-D2203M	EI-D3203M	EI-D4203M

EI-D203M	EI-D303M	EI-D1003M	EI-D1103M	EI-D1303M	EI-D2003M	EI-D3203M	EI-D4203M
額定頻率	833Hz	750Hz	1166Hz	1200Hz	1010Hz	450Hz	350Hz	300Hz
蓄電池	不要	不要	不要	不要	不要	不要	不要	不要
組合互換性	泵本體、電源裝置、電纜在相同型號交換時不需要調(diào)整，即同型號*兼容
環(huán)境條件溫度/濕度	0～45℃/40～80HR
電源電壓	單相AC100～120	單相AC100～120	單相AC200～240V	單相AC200～240V	單相AC200～240V	單相AC200～240V	單相AC200～240V	單相AC200～240V
(50/60Hz)±10％	/200～240V	/200～240V	單相AC200～240V	單相AC200～240V	單相AC200～240V	單相AC200～240V	單相AC200～240V	單相AC200～240V
最大所需電力	0.45kVA	0.55kVA	1.0kVA