貨號 | CV-3200S4 | CV-3200H4 | CV-3200W4 | CV-3200SB | CV-3200H8 | CV-3200W8 |
CV-4500S4 | CV-4500H4 | CV-4500W4 | CV-4500SB | CV-4500H8 | CV-4500W8 |
測量范圍 | X軸 | 100MM | 200MM |
Z1軸（檢出器） | 60mm(水平位置±30mm) |
Z2軸（立柱）移動范圍 | 300mm | 500mm | 300mm | 500mm |
Z1軸 （檢出器） | 光柵尺類型 | 弧形 |
分辨力 | CV-3200系列；0.04μm，CV-4500系列；0.02μm |
測針上/下運作 | 弧形移動 |
測量方向 | 向前/向后 |
測針方向 | CV-3200系列：垂直方向（向上/向下單獨測量） CV-4500系列：垂直方向（向上/向下根據配重調整） |
測力 | CV-3200系列：30mN（上下可連續測量） CV-4500系列：10，20，30，40,50mN（根據軟件轉換） |
跟蹤角度 | 向上：77°，向下：83°（根據表面粗糙度，使用標準單切面測針*1） |
驅動部 | 長度基準 | X軸 | 激光全息光柵尺 |
Z2軸（立柱） | ABS光柵尺 |
分辨力 | X軸 | 0.05μm |
Z2軸（立柱） | 1μm |
驅動速度 | X軸 | 0-80mm/s 外加手動 |
Z2軸（立柱） | 0-30mm/s 外加手動 |
測量速度 | X軸 | 0.02-5mm/s |
直線度*2 | X軸 | 0.8μm/100mm | 2μm/200mm |
傾角范圍 | X軸） | ±45° |
精度 （20℃） | CV-3200系列 | X軸 | ±（0.8+0.01L）μm L=驅動長度（mm） 寬范圍：1.8μm/100mm 窄范圍：1.05μm/25mm | ±（0.8+0.02L）μm L=驅動長度（mm） 寬范圍：1.8μm/200mm 窄范圍：1.3μm/25mm |
Z1軸 （檢出器） | ±（1.6+（2H）/100）μm H=水平位置上的測量高度（mm） |
CV-4500系列 | X軸 | ±（0.8+0.01L）μm L=驅動長度（mm） 寬范圍：1.8μm/100mm 窄范圍：1.05μm/25mm | ±（0.8+0.02L）μm L=驅動長度（mm） 寬范圍：1.8μm/200mm 窄范圍：1.3μm/25mm |
Z1軸（檢出器） | ±（0.8+（2H）/100）μm H=水平位置上的測量高度（mm） |
外形 尺寸 | 主機*3 | | 756*482*966mm | 756*482*1166mm | 1156*482*1176mm | 766*482*966mm | 766*482*1166mm | 1166*482*1176mm |
重量 | 主機 | | 140kg | 150kg | 220kg | 140kg | 150kg | 220kg |
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