真空鍍膜系統內凈化氣體和反應氣體的輸入需要快速的響應和精確的控制。
艾里卡特ALICAT質量流量控制器和壓力控制器具有快速的控制響應速度和EtherCAT通訊模式。有了這種EtherCAT通訊模式，將不再需要EtherCAT轉換器，儀表也能更輕松地整合到工業PLC網絡中。
化學蒸汽沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）過程所用腐蝕性氣態和液態前驅體需要不會隨時間推移而被腐蝕的質量流量儀表。ALICAT艾麗卡特S系列（MC、MCES、MCVS）質量流量控制器采用316L不銹鋼材質的流量傳感器和FFKM彈性體，能夠忍受這些嚴酷的元素。
升級為艾里卡特質量流量控制器非常簡單。我們的MCE系列產品滿足SEMI對連接長度的規范要求，它可通過插入方式與眾多其它生產商的舊版MFC兼容。艾里卡特MCV是舊版MFC的插入式替代品，配有集成式啟動截止閥。
通過快速控制反應氣體流量，確保薄膜涂層的均勻性。艾里卡特產品控制響應時間僅50ms或更短，確保被引入您反應濺射過程的反應氣體保持一致且可重復。我們將根據您的預期過程條件設置每一臺流量控制器的PID調節功能，而且，如果您需要更改設置，您可在安裝后隨時更改這些設置。
多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
耐用。MC系列氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。
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