一、熱式原理質(zhì)量流量計
優(yōu)勢：1：耐強腐蝕/高壓 2：長期穩(wěn)定性好 3：上市時間長
不足：怕水分
代表品牌：美國 MKS\BROOKS AALBORG，日本 HORIBA，德國寶德，國產(chǎn)格里爾斯GRYLLS
二 、壓差式原理質(zhì)量流量計
優(yōu)勢：1：精度高 2：速度快 3：不怕水分
不足：1：有些強腐蝕氣體，不能制作 2：不能耐高壓
代表品牌：美國 ALCIAT-20KG，美國 AALBORG ，國產(chǎn)格里爾斯GRYLLS
三 、科里奧利（科氏）質(zhì)量流量計
目前優(yōu)秀的測量原理，集熱式和壓差式的優(yōu)勢
價格比其它原理的高
代表品牌：荷蘭 Bronkhorst，美國 BROOKS，國產(chǎn)格里爾斯GRYLLS
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