說明
TTR 911 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性的測量結果。
配備 RS232 數字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 數字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的變送器版本可設置變送器參數，并可提供實時壓力測量結果。更多詳情，請參閱通信協議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的變送器版本能夠監控基本的變送器參數。更多詳情，請參閱第 6.4 章。
TTR 911 N THERMOVAC 變送器用途廣泛，可用作獨立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數均在操作溫度范圍內逐一得到溫度補償。
變送器擁有多達三個機械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設備，用于獲取壓力讀數，或進行壓力控制。
傳感器技術
變送器具備單獨的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統)) 傳感器元件，元件測量基于熱傳導性。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內無法進行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散，氣體分子只到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。傳感器元件極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
應用
變送器可用于眾多不同領域的真空應用中，如：工業應用、研發、半導體、分析和涂料工業中:
· 一般真空壓力測量
· 前級管道和粗抽壓力測量
· 氣體回填測量和控制
· 質譜儀控制
· 啟動超高真空電離 (UHV) 規
· 系統過程控制
· 檢測異常壓力，利用繼電器設定點采取妥當的安全措施
· 控制系統壓力
P/N: 89656V02 和 230701V02 含有 Parylene-HT®涂層傳感器。
Parylene-HT®是保形涂層，氣體阻隔性，不釋氣。與標準 MEMS Pirani 相比，Parylene-HT®涂層傳感器對各種腐蝕性氣體的耐受性更強。涂層覆蓋整個傳感器芯片，包括接線。因此，暴露于處理氣體的材料只有 Parylene-HT®涂層。 如需更多詳情，請聯系應用支持部門。
廢棄處理
TTR 911 N 變送器是根據 RoHS (在電子電氣設備中限制使用某些有害物質) 指令制造的。
技術數據
測量原理: 熱傳導性依據 MEMS Pirani 傳感器而定
測量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 至 1000 毫巴
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精確度(1) (N2): | 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: | 誤差是讀數的 | ±10% |
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| 1×10-3 至 100 毫巴: | 誤差是讀數的 | ±5% |
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| 100 至 1000 毫巴: | 誤差是讀數的 | ±25% |
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重復性(1) (N2): | 1×10-3 至 100 毫巴: | 誤差是讀數的 | ±2% |
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電源電壓: | 9-30 伏直流 |
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功耗: | < 1.2 瓦 |
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熔絲 (熱可恢復): | 200 毫安 |
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模擬輸出 (100 歐阻抗): | 0.61-10 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十進制 |
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模擬輸出分辨率: | 16 位 |
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模擬輸出更新率: | 16 赫茲 |
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傳感器故障，模擬輸出: | 0.5 伏 |
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材料暴露于真空(2): |
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P/N: 89654V02、89660V02、230700V02: | 304 號不銹鋼、密封材料 FPM |
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P/N: 89656V02、230701V02: | 304 號不銹鋼、密封材料 FPM、Parylene-HT® |
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機械設定點繼電器: |
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P/N: 89660V02: | 3 |
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P/N: 89654V02、89656V02: | 2 |
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設定點繼電器范圍: | 2×10-4 至 1000 毫巴 |
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設定點繼電器觸點額定值: | 1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負載) |
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設定點繼電器響應時間: | < 100 毫秒 |
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設定點繼電器觸點電阻: | 100 毫歐 (值) |
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設定點繼電器觸點耐久性: | 100000 循環 (最小值) (30 伏直流/1 安負載) |
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設定點繼電器觸點耐久性: | 2000000 循環 (最小值) (30 伏直流/0.2 安負載) |
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軟件設定點繼電器: |
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P/N: 230700V02、230701V02: | 2 |
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數字接口循環時間 | 1 毫秒 |
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內部容積: | KF16: | 2.80 厘米3 |
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外殼材質: | 304 號不銹鋼 |
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重量: |
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P/N: 89654V02、89656V02: | 292 克 |
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P/N: 89660V2: | 168 克 |
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P/N: 230700V02、230701V02: | 338 克 |
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允許壓力: | 6 巴 |
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運行溫度: | 0 至 40 °C (32 至 104 °F) |
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烘烤溫度 (電源關閉): | 85 °C (185 °F) |
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燈絲溫度: | 超過室溫 35 °C |
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異物防護等級: | IP40 |
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泄漏速率: | < 5?0-9 毫巴?升/秒 |
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(1) 精確度和重復性數值是零位調整后在室溫氮氣氛下測得的典型數值。 |
(2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表，請聯系LEYBOLD。 |
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Parylene-HT®是Specialty Coating Systems, Inc 的商標。
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配件和備件編號
零件 | 產品號 |
TTR 911 N，DN16 KF，Display，2SP | 89654V02 |
TTR 916 N C，DN16 KF，Display，2SP | 89656V02 |
TTR 911 N，DN16 KF，RS232 | 89660V02 |
TTR 911 N，DN16 KF，EtherCat | 230700V02 |
TTR 911 N C，DN16 KF，EtherCat | 230701V02 |
備用傳感器 TTR 911 N/TTR 916 N，DN16 KF | 230650V02 |
備用傳感器 TTR 911 N C/TTR 916 N C，DN16 KF | 230651V02 |
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Display 1 | 230001 |
Display 2 | 230024 |
Display 3 | 230025 |
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Graphix 1 | 230680V01 |
Graphix 2 | 230681V01 |
Graphix 3 | 230682V01 |
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A 型電纜，5 米 | 12426 |
A 型電纜，10 米 | 230012 |
A 型電纜，15 米 | 12427 |
A 型電纜，20 米 | 12428 |
A 型電纜，30 米 | 12429 |
A 型電纜，50 米 | 12431 |
A 型電纜，75 米 | 12432 |
A 型電纜，100 米 | 12433 |
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螺旋管 DN 16 ISO-KF | 230082 |
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定心環 (1.4305 號不銹鋼)，含 O 型環，DN16 KF | 88346 |
定心環 (不銹鋼)，含燒結金屬過濾器，DN16 KF | 88351 |
卡環 (鋁)，DN16 KF | 18341 |
定心環，含細濾器 DN16 KF | 88396 |
更多信息請聯系萊寶：安博元科技 info
