典型應用- PVD鍍膜系統- 建筑玻璃鍍膜- 光學鍍膜- 液晶顯示器- 平板顯示- 科研- 分析領域技術特點- 任意方向安裝- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF高真空接口- DN 40 KF前級真空接口- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧式）MAG INTEGRA 系列產品MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復合分子泵- 水冷- CE和RoHS認證：滿足UL要求- 防護等......

詳細介紹

典型應用

- PVD鍍膜系統

- 建筑玻璃鍍膜

- 光學鍍膜

- 液晶顯示器

- 平板顯示

- 科研

- 分析領域

技術特點

- 任意方向安裝

- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前級真空接口

- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧

式）

MAG INTEGRA 系列產品

MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS認證：滿足UL要求

- 防護等級IP 54

- 兩個工業通信模塊卡接口

- RS 232，維護接口

- 可以安裝其它接口：Profibus、RS

485 C，9針24 V SPS

客戶得益

- 抽速和氣載量較高

- 可靠、耐用

- 免維護

- 適合用于分析、薄膜技術、電子顯

微鏡、科研領域等對振動敏感的應

用場合

- 由于采用模塊化設計具有靈活性，

變頻器可以安裝在一側或下面

更多信息請聯系萊寶：安博元科技 info

技術特點

- 任意方向安裝

- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前級真空接口

- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧

式）

MAG INTEGRA 系列產品

MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS認證：滿足UL要求

- 防護等級IP 54

- 兩個工業通信模塊卡接口

- RS 232，維護接口

- 可以安裝其它接口：Profibus、RS

485 C，9針24 V SPS

客戶得益

- 抽速和氣載量高

- 可靠、耐用

- 免維護

- 適合用于分析、薄膜技術、電子顯

微鏡、科研領域等對振動敏感的應

用場合

- 由于采用模塊化設計具有靈活性，

變頻器可以安裝在一側或下面

更多信息請聯系萊寶：安博元科技 info

典型應用

- PVD鍍膜系統

- 建筑玻璃鍍膜

- 光學鍍膜

- 液晶顯示器

- 平板顯示

- 科研

- 分析領域

更多信息請聯系萊寶：安博元科技 info

技術參數 TURBOVAC MAG INTEGRA W

1300 iP(L) 1600/1601 iP(L)

進氣口法蘭	DN		200 ISO-F	250 ISO-F
			200 CF
抽速
氮氣	I x s-1		1100	1600
氬氣	I x s-1		1050	1470
氦氣	I x s-1		1220	1770/1700
氫氣	I x s-1		1130	1570/1500
轉速	min-1		37 800	33 000
可調待機轉速	min-1		13 800 (230 Hz)	13 800 (230 Hz)
壓縮比
氮氣			> 108	> 107
氬氣			> 108	> 107
氫氣，1 sccm時			2 0 x 105	6 x 104/3 x 103
氦氣，1 sccm時			8 0 x 103	1 0 x 103/5 x 102
氣載量
氮氣，短暫，例如抽出中
	mbar x I x s-1		30	60
氮氣，連續使用
	mbar x I x s-1		20	30/40
氬氣，短暫，例如抽出中
	mbar x I x s-1		20	30
氬氣，連續使用
	mbar x I x s-1		15	20/25
極限壓強
ISO-F法蘭	mbar		< 10-8	< 10-8
CF法蘭	mbar		< 10-10	–
高除氣溫度	°C		80	80
前級耐壓
氮氣	mbar		4	1
氬氣	mbar		0 6	1
推薦的前級泵			TRIVAC B 或干泵
加速時間	min		< 5	< 7
前級管道法蘭	DN		40 KF	40 KF
吹掃/破空端口(夾鏈式)	DN		16 KF	16 KF
水冷接口尺寸	G		1/8"	1/8"
重量	kg		40	45
執行ISO 3744標準的噪聲級	dB(A)		< 41	< 41
速度時高真空法蘭處的振動值		μm	0 01	0 01