萊寶真空生產的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡單，可靠性高等特點。與性能良好的前級泵組合后，可以實現低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。萊寶真空是世界上渦輪分子泵之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應用于許多場合。工作原理渦輪分子泵轉子是一個帶葉片的渦輪，快速旋轉的葉片將動量傳輸給氣體分子，將起初無方向性的熱運動......

詳細介紹

萊寶真空生產的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡單，可靠性高等特點。與性能良好的前級泵組合后，可以實現低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。

萊寶真空是世界上渦輪分子泵之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應用于許多場合。

工作原理

渦輪分子泵轉子是一個帶葉片的渦輪，快速旋轉的葉片將動量傳輸給氣體分子，將起初無方向性的熱運動變成有定向運動。

渦輪分子泵的抽氣過程就是使氣體分子從進氣口法蘭定向運動到前級真空口。

在分子流范圍——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強時，氣體分子的平均自由行程大于轉子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點幾毫米)，分子主要與轉子葉片碰撞，所以

抽氣過程非常高效。

在粘滯流范圍，也就是壓強超過10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情況則不同，分子間的頻繁碰撞降低了轉子的效率。因此，渦輪分子泵無法在大氣壓下工作，需要適當抽速的前級真空泵。

為了使氣體分子產生定向運動，轉子葉片的末端的線速度必須足夠大。所以，轉子也要有相應的高轉速。對于萊寶真空的渦輪分子泵而言，較大直徑轉子（例如 TURBOVAC 1000 ，大約20cm(7.87in.)）的轉速大約為36000rpm，而較小直徑轉子（例如TURBOVAC50，大約6cm(2.36in.)）的轉速為72000rpm。

分子泵設計理念

萊寶真空針對不同應用提供基于不同軸承和轉子技術的渦輪分子泵。如TURBOVAC系列機械軸承標準分子泵；TURBOVAC MAG系列磁懸浮軸承分子泵；TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵（半磁浮分子泵僅在排氣端配置脂潤滑軸承，高真空端配置免維護的永磁軸承）。萊寶真空的分子泵均不采用油潤滑軸承可以從理論上避免分子泵對腔體產生碳氫化合物污染并且保證所有分子泵均可以任意角度安裝。

萊寶TURBOVAC i 分子泵剖面圖

TURBOVAC i/iX系列

TURBOVAC i/iX系列分子泵是萊寶真空采用全新的設計理念研發的全新一代分子泵。該系列產品為客戶提供真空的性能和較高的系統集成度。

TURBOVAC i/iX系列分子泵創新的軸承設計地克服了分子泵軸承設計的瓶頸，同時滿足了軸承無油和現場更換這兩大設計難點，實現了一代的技術水平。

TURBOVAC i/iX系列分子泵適合分析儀器、科研和普通工業應用

TURBOVAC產品線的優勢是：

- 無油，可以實現清潔的高真空和超高真空條件

- 運行高度可靠

- 耐輻射

- 設計緊湊

TURBOVAC i/iX產品線的優勢是：

- 款無油半磁浮分子泵

- 模塊化設計

- 抽速大，壓比高

- 免維護

- 清潔無油

陶瓷滾珠軸承技術

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤滑。

陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長軸承和分子泵的壽命延長。

裝有脂潤滑的陶瓷滾珠軸承TURBOVAC泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進入高真空區域。

更多信息請聯系萊寶：安博元科技 info

TURBOVAC i/iX產品線的優勢是：

- 款無油半磁浮分子泵

- 模塊化設計

- 抽速大，壓比高

- 免維護

- 清潔無油

陶瓷滾珠軸承技術

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤滑。陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長軸承和分子泵的壽命延長。裝有脂潤滑的陶瓷滾珠軸TURBOVAC

泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進入高真空區域。

技術特點

TURBOVAC i

- 集成變頻器，24/48V DC 電源供電

- 切削成型轉子和全新復合級設計使分

　子泵具有超佳性能和較大抽速，對輕

　質氣體尤為突出

- 任意方向安裝

- 的可靠性源于創新的軸承設計理

　念

- 設計靈活，適應性強

- 市場上一款無油半磁浮分子泵

- 現場維護（更換軸承），維修成本低，

　時間短

- 通訊接口齊全（標配USB，RS485和

　15針數字I/O）

TURBOVAC iX

- 集成真空系統控制器配置靈活的通訊

　接口和附件控制接口（用于控制冷卻

　單元，閥門，規管和前級泵等）

- 附件齊全，即插即用

- 適應性強，適合各類真空工藝

TURBOVAC T i, T iX

- 標準分子泵（不含復合級）

- 帶氣載能力強

- 耐粉塵

- 啟動時間短

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典型應用

- 分析儀器/科研

　- 質譜儀

　- 電子顯微鏡

　- 表面分析儀

　- 加速器和同步加速器

　- X射線分析儀

　- 實驗室鍍膜系統

　- MBE

　- 超高真空系統

- 生命科學

　- 放射醫療

　- 伽馬射線滅菌

　- 高品質植入物生產

- 工業和鍍膜應用

　- PVD鍍膜設備

　- 光學鍍膜設備

　- CD/DVD/藍光光碟生產

　- 薄膜太陽能

　- 進樣室/轉移室/傳輸室

　- 電子束焊機

　- 檢漏/真空絕熱

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技術參數 TURBOVAC

350i/ix 450i/ix T350i/ix T450i/ix

進氣口法蘭	DN	100 ISO-K	160 ISO-K	100 ISO-K	160 ISO-K
		100 CF	160 CF	100 CF	160 CF
前級法蘭	DN	25 ISO-KF	25 ISO-KF	25 ISO-KF	25 ISO-KF
抽速
N2	I x s-1	290	430	290	430
Ar	I x s-1	260	400	260	400
He	I x s-1	360	440	360	440
H2	I x s-1	350	420	320	400
氣載量
N2	mbar x I x s-1	4 5	4 5	11 5	11 5
Ar	mbar x I x s-1	2 0	2 0	6 0	6 0
He	mbar x I x s-1	8 0	8 0	20 0	20 0
H2	mbar x I x s-1	8 0	8 0	20 0	20 0
壓縮比
N2		1 x 1011	1 x 1011	1 x 1010	1 x 1010
Ar		1 x 1011	1 x 1011	1 x 1011	1 x 1011
He		1 x 108	1 x 108	1 x 106	1 x 106
H2		1 x 106	1 x 106	1 x 104	1 x 104
極限壓強
(雙級旋片泵做前級)
ISO-K / CF	mbar	< 10-8 / < 10-10	< 10-8 / < 10-10	< 10-8 / < 10-10	< 10-8 / < 10-10
前級耐壓
N2	mbar (Torr)	10 0 (7 5)	10 0 (7 5)	0 5 (0 375)	0 5 (0 375)
推薦的前級泵
TRIVAC		D 4 B	D 4 B	D 16 B	D 16 B
SCROLLVAC		SC 5 D / 15 D	SC 5 D / 15 D	SC 15 D / 30 D	SC 15 D / 30 D
DIVAC		3 8 HV3	3 8 HV3	–	–
轉速	min-1 (rpm)	60 000	60 000	60 000	60 000
轉速調節范圍	%	50 至 100	50 至 100	50 至 100	50 至100
加速時間約	min	5 5	5 5	3 5	3 5
環境溫度要求
運行	°C	+5 至 +45	+5 至 +45	+5 至 +45	+5 至 +45
	(°F)	(+41 至 +113)	(+41 至 +113)	(+41 至 +113)	(+41 至 +113)
儲存	°C	-15 至 -70	-15 至 -70	-15 至 -70	-15 至 -70
	(°F)	(+5 至 -94)	(+5 至 -94)	(+5 至 -94)	(+5 至 -94)
冷卻方式
標配		對流	對流	對流	對流
可選		風冷或水冷	風冷或水冷	風冷或水冷	風冷或水冷
水冷接口
		6 x 1軟管接頭	6 x 1軟管接頭	6 x 1軟管接頭	6 x 1軟管接頭
		或1/8"管螺紋	或1/8"管螺紋	或1/8"管螺紋	或1/8"管螺紋
冷卻水流量	l/h	50 至 100	50 至 100	50 至 100	50 至 100
冷卻水壓力要求(g)		3 至 6	3 至 6	3 至 6	3 至 6
冷卻水溫度要求	°C	+15 至 +35	+15 至 +35	+15 至 +35	+15 至 +35
	(°F)	(+59 至 +95)	(+59 至 +95)	(+59 至 +95)	(+59 至 +95)
噪聲
對流冷卻	db(A)	< 44	< 44	< 44	< 44
帶徑向冷卻風扇	db(A)	< 47	< 47	< 47	< 47
帶軸向冷卻風扇	db(A)	< 49	< 49	< 49	< 49

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TURBOVAC	350 i	T 350 i	450 i	T 450 i
RS 485, USB+, 15-針 I/O 接口
高真空法蘭	100 ISO-K	100 ISO-K	160 ISO-K	160 ISO-K
產品號	830051V1000	830050V1000	830071V1000	830070V1000
高真空法蘭	100 CF	100 CF	160 CF	160 CF
產品號	830061V1000	830060V1000	830081V1000	830080V1000
可選接口(RS 232, Profibus), USB+, 15-針 I/O 接口 : 根據需求選擇

TURBOVAC	350 iX	T 350 iX	450 iX	T 450 iX
USB+, 15-針 I/O 接口
高真空法蘭	100 ISO-K	100 ISO-K	160 ISO-K	160 ISO-K
產品號	830051V3000	830050V3000	830071V3000	830070V3000
高真空法蘭	100 CF	100 CF	160 CF	160 CF
產品號	830061V3000	830060V3000	830081V3000	830080V3000