典型應(yīng)用- PVD鍍膜系統(tǒng)- 建筑玻璃鍍膜- 光學鍍膜- 液晶顯示器- 平板顯示- 科研- 分析領(lǐng)域技術(shù)特點- 任意方向安裝- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF高真空接口- DN 40 KF前級真空接口- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧式）MAG INTEGRA 系列產(chǎn)品MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復合分子泵- 水冷- CE和RoHS認證：滿足UL要求- 防護等......

詳細介紹

典型應(yīng)用

- PVD鍍膜系統(tǒng)

- 建筑玻璃鍍膜

- 光學鍍膜

- 液晶顯示器

- 平板顯示

- 科研

- 分析領(lǐng)域

技術(shù)特點

- 任意方向安裝

- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前級真空接口

- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧

式）

MAG INTEGRA 系列產(chǎn)品

MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS認證：滿足UL要求

- 防護等級IP 54

- 兩個工業(yè)通信模塊卡接口

- RS 232，維護接口

- 可以安裝其它接口：Profibus、RS

485 C，9針24 V SPS

客戶得益

- 抽速和氣載量較高

- 可靠、耐用

- 免維護

- 適合用于分析、薄膜技術(shù)、電子顯

微鏡、科研領(lǐng)域等對振動敏感的應(yīng)

用場合

- 由于采用模塊化設(shè)計具有靈活性，

變頻器可以安裝在一側(cè)或下面

更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info

技術(shù)特點

- 任意方向安裝

- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前級真空接口

- 保護氣/破空接口DN 16 KF（卡簧

式）

MAG INTEGRA 系列產(chǎn)品

MAG INTEGRA – 集成磁懸浮復合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS認證：滿足UL要求

- 防護等級IP 54

- 兩個工業(yè)通信模塊卡接口

- RS 232，維護接口

- 可以安裝其它接口：Profibus、RS

485 C，9針24 V SPS

客戶得益

- 抽速和氣載量高

- 可靠、耐用

- 免維護

- 適合用于分析、薄膜技術(shù)、電子顯

微鏡、科研領(lǐng)域等對振動敏感的應(yīng)

用場合

- 由于采用模塊化設(shè)計具有靈活性，

變頻器可以安裝在一側(cè)或下面

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典型應(yīng)用

- PVD鍍膜系統(tǒng)

- 建筑玻璃鍍膜

- 光學鍍膜

- 液晶顯示器

- 平板顯示

- 科研

- 分析領(lǐng)域

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技術(shù)參數(shù) TURBOVAC MAG INTEGRA W

1700 iP(L) 2200/2201 iP(L)

進氣口法蘭	DN		250 ISO-F	250 ISO-F
			250 CF	250 CF
抽速
氮氣	I x s-1		1610	2100
氬氣	I x s-1		1480	1900
氦氣	I x s-1		1710	2050
氫氣	I x s-1		1660	1750
轉(zhuǎn)速	min-1		33 000	30 600/30000
可調(diào)待機轉(zhuǎn)速	min-1		13 800 (230 Hz)	13 800 (230 Hz)
壓縮比
氮氣			> 108	> 108
氬氣			> 108	> 108
氫氣，1 sccm時			2 0 x 105	5 x 104/5 x 103
氦氣，1 sccm時			4 0 x 103	5 x 103/5 x 102
氣載量
氮氣，短暫，例如抽出中
	mbar x I x s-1		30	30/50
氮氣，連續(xù)使用
	mbar x I x s-1		20	17/36
氬氣，短暫，例如抽出中
	mbar x I x s-1		20	20/30
氬氣，連續(xù)使用
	mbar x I x s-1		15	12/24
極限壓強
ISO-F法蘭	mbar		< 10-8	< 10-8
CF法蘭	mbar		< 10-10	< 10-10
高除氣溫度	°C		80	80
前級耐壓
氮氣	mbar		4	2 5/1 2
氬氣	mbar		0 6	2 5/1 2
推薦的前級泵	TRIVAC B或干泵
加速時間	min		< 7	<10
前級管道法蘭	DN		40 KF	40 KF
吹掃/破空端口(夾鏈式)	DN		16 KF	16 KF
水冷接口尺寸	G		1/8"	1/8"
重量	kg		45	50
執(zhí)行ISO 3744標準的噪聲級	dB(A)		< 41	< 41
速度時高真空法蘭處的振動值		μm	0 01	0 01