TURBOVAC MAG 磁懸浮分子泵TURBOVAC MAG系列TURBOVAC MAG系列耐腐蝕磁懸浮分子泵，適用于從10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓強范圍。對空氣的抽速從300 l x s-1(進氣口法蘭直徑 = 100mm(3.94in.))至3200 l x s-1(進氣口法蘭直徑 = 320mm(12.......

詳細介紹

TURBOVAC MAG 磁懸浮分子泵

TURBOVAC MAG系列

TURBOVAC MAG系列耐腐蝕磁懸浮分子泵，適用于從10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓強范圍。對空氣的抽速從300 l x s-1(進氣口法蘭直徑 = 100mm(3.94in.))至3200 l x s-1(進氣口法蘭直徑 = 320mm(12.6in.))不等。

TURBOVAC MAG泵較常用于半導體工業，例如蝕刻、CVD、PVD和離子注入，也就是需要抽除腐蝕性氣體的應用條件。

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列磁懸浮分子泵是集現代真空科技之大成的新產品！

它設計精良，性能優異，可靠耐用是高真空應用的睿智選擇。新的主動定位五軸磁懸浮技術與萊寶真空專有抗沖擊設計相結合，保證了TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁懸浮分子泵無磨損的優勢又延續了萊寶分子泵耐沖擊的一貫特性。

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵適合短節拍大氣載的應用，可幫助客戶縮短工藝節拍，提高工作效率。非常適合電子顯微鏡，玻璃鍍膜、工業和科研等應用。

TURBOVAC MAC產品線的優勢是：

- 無碳氫化合物，可以實現清潔的高真空和超高真空條件；

- 任何安裝方向都具有高性能

- 運行高度可靠

- 振動極低

- 防腐蝕版可以抽除腐蝕性氣體

- 免維護

典型應用

- 氣體分析系統

- 粒子加速器

- 電子顯微鏡

- 科研

- 鍍膜設備

技術特點

- 任意方向安裝

- ISO-K或CF高真空接口

- DN 16 ISO-KF，帶卡簧式前級真空接口

- 保護氣/破空接口DN 16 ISO-KF（卡簧式接口）

- 可選擇水冷或風冷

- CE和RoHS認證：滿足UL要求

- 標準9針24 V SPS，PLC接口

- RS 232 C，維護接口

- 可以安裝其它接口:Profibus, RS 485 C

客戶得益

- 尺寸可能較小，抽速較高

- 免維護

- 適合用于分析儀器、薄膜技術、電子顯微鏡、科研領域對振動敏感的應用場合

- 由于采用模塊化設計具有靈活性；也可以提供臺式變頻器

- 兩個工業通信模塊卡接口

更多信息請聯系萊寶：安博元科技 info

TURBOVAC MAC產品線的優勢是：

- 無碳氫化合物，可以實現清潔的高真空和超高真空條件；

- 任何安裝方向都具有高性能

- 運行高度可靠

- 振動極低

- 防腐蝕版可以抽除腐蝕性氣體

- 免維護

技術特點

- 任意方向安裝

- ISO-K或CF高真空接口

- DN 16 ISO-KF，帶卡簧式前級真空接口

- 保護氣/破空接口DN 16 ISO-KF（卡簧式接口）

- 可選擇水冷或風冷

- CE和RoHS認證：滿足UL要求

- 標準9針24 V SPS，PLC接口

- RS 232 C，維護接口

- 可以安裝其它接口:Profibus, RS 485 C

客戶得益

- 尺寸可能較小，抽速較高

- 免維護

- 適合用于分析儀器、薄膜技術、電子顯微鏡、科研領域對振動敏感的應用場合

- 由于采用模塊化設計具有靈活性；也可以提供臺式變頻器

- 兩個工業通信模塊卡接口

更多信息請聯系萊寶：安博元科技 info

典型應用

- 氣體分析系統

- 粒子加速器

- 電子顯微鏡

- 科研

- 鍍膜設備

更多信息請聯系萊寶：安博元科技 info

技術參數				TURBOVAC MAG
	W 600 iP					W 700 iP
進氣口法蘭	DN	160 ISO-K	160 CF		200 ISO-K		200 CF
抽速氮氣氬氣氦氣氫氣	I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1	550 520 570 410	550 520 570 410		590 540 600 430		590 540 600 430
轉速	min-1	48 000	48 000		48 000		48 000
壓縮比氮氣氫氣氦氣		1 6 x 1010 3 4 x 104 1 7 x 106	1 6 x 1010 3 4 x 104 1 7 x 106		1 6 x 1010 3 4 x 104 1 7 x 106		1 6 x 1010 3 4 x 104 1 7 x 106
極限壓強	mbar (Torr)	< 10-8 (< 0 75 x 10-8)	< 10-10 (< 0 75 x 10-10)		< 10-8 (< 0 75 x 10-8)		< 10-10 (< 0 75 x 10-10)
高除氣溫度	°C (°F)	–	80 (176)		–		80 (176)
前級管道壓強，對于氮氣	mbar (Torr)	6 0 (4 5)	6 0 (4 5)		6 0 (4 5)		6 0 (4 5)
推薦的前級泵		TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B	TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B		TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B		TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B
加速時間	min	< 6	< 6		< 6		< 6
前級管道法蘭(卡簧式)	DN	25 ISO-KF	25 ISO-KF		25 ISO-KF		25 ISO-KF
吹掃/破空端口 (卡簧式)	DN	16 ISO-KF	16 ISO-KF		16 ISO-KF		16 ISO-KF
水冷接口尺寸(可選)	G	1/8"	1/8"		1/8"		1/8"
重量	kg (lbs)	17 (37 5)	17 (37 5)		17 (37 5)		17 (37 5)