萊寶真空生產(chǎn)的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡(jiǎn)單，可靠性高等特點(diǎn)。與性能良好的前級(jí)泵組合后，可以實(shí)現(xiàn)低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。萊寶真空是世界上渦輪分子泵之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應(yīng)用于許多場(chǎng)合。工作原理渦輪分子泵轉(zhuǎn)子是一個(gè)帶葉片的渦輪，快速旋轉(zhuǎn)的葉片將動(dòng)量傳輸給氣體分子，將起初無(wú)方向性的熱運(yùn)動(dòng)......

詳細(xì)介紹

萊寶真空生產(chǎn)的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡(jiǎn)單，可靠性高等特點(diǎn)。與性能良好的前級(jí)泵組合后，可以實(shí)現(xiàn)低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。

萊寶真空是世界上渦輪分子泵之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應(yīng)用于許多場(chǎng)合。

工作原理

渦輪分子泵轉(zhuǎn)子是一個(gè)帶葉片的渦輪，快速旋轉(zhuǎn)的葉片將動(dòng)量傳輸給氣體分子，將起初無(wú)方向性的熱運(yùn)動(dòng)變成有定向運(yùn)動(dòng)。

渦輪分子泵的抽氣過(guò)程就是使氣體分子從進(jìn)氣口法蘭定向運(yùn)動(dòng)到前級(jí)真空口。

在分子流范圍——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強(qiáng)時(shí)，氣體分子的平均自由行程大于轉(zhuǎn)子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點(diǎn)幾毫米)，分子主要與轉(zhuǎn)子葉片碰撞，所以

抽氣過(guò)程非常高效。

在粘滯流范圍，也就是壓強(qiáng)超過(guò)10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情況則不同，分子間的頻繁碰撞降低了轉(zhuǎn)子的效率。因此，渦輪分子泵無(wú)法在大氣壓下工作，需要適當(dāng)抽速的前級(jí)真空泵。

為了使氣體分子產(chǎn)生定向運(yùn)動(dòng)，轉(zhuǎn)子葉片的末端的線速度必須足夠大。所以，轉(zhuǎn)子也要有相應(yīng)的高轉(zhuǎn)速。對(duì)于萊寶真空的渦輪分子泵而言，較大直徑轉(zhuǎn)子（例如 TURBOVAC 1000 ，大約20cm(7.87in.)）的轉(zhuǎn)速大約為36000rpm，而較小直徑轉(zhuǎn)子（例如TURBOVAC50，大約6cm(2.36in.)）的轉(zhuǎn)速為72000rpm。

分子泵設(shè)計(jì)理念

萊寶真空針對(duì)不同應(yīng)用提供基于不同軸承和轉(zhuǎn)子技術(shù)的渦輪分子泵。如TURBOVAC系列機(jī)械軸承標(biāo)準(zhǔn)分子泵；TURBOVAC MAG系列磁懸浮軸承分子泵；TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵（半磁浮分子泵僅在排氣端配置脂潤(rùn)滑軸承，高真空端配置免維護(hù)的永磁軸承）。萊寶真空的分子泵均不采用油潤(rùn)滑軸承可以從理論上避免分子泵對(duì)腔體產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴静⑶冶ＷC所有分子泵均可以任意角度安裝。

萊寶TURBOVAC i 分子泵剖面圖

TURBOVAC i/iX系列

TURBOVAC i/iX系列分子泵是萊寶真空采用全新的設(shè)計(jì)理念研發(fā)的全新一代分子泵。該系列產(chǎn)品為客戶提供真空的性能和較高的系統(tǒng)集成度。

TURBOVAC i/iX系列分子泵創(chuàng)新的軸承設(shè)計(jì)地克服了分子泵軸承設(shè)計(jì)的瓶頸，同時(shí)滿足了軸承無(wú)油和現(xiàn)場(chǎng)更換這兩大設(shè)計(jì)難點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了一代的技術(shù)水平。

TURBOVAC i/iX系列分子泵適合分析儀器、科研和普通工業(yè)應(yīng)用

TURBOVAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢(shì)是：

- 無(wú)油，可以實(shí)現(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件

- 運(yùn)行高度可靠

- 耐輻射

- 設(shè)計(jì)緊湊

TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線的優(yōu)勢(shì)是：

- 款無(wú)油半磁浮分子泵

- 模塊化設(shè)計(jì)

- 抽速大，壓比高

- 免維護(hù)

- 清潔無(wú)油

陶瓷滾珠軸承技術(shù)

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤(rùn)滑。

陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長(zhǎng)軸承和分子泵的壽命延長(zhǎng)。

裝有脂潤(rùn)滑的陶瓷滾珠軸承TURBOVAC泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進(jìn)入高真空區(qū)域。

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TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線的優(yōu)勢(shì)是：

- 款無(wú)油半磁浮分子泵

- 模塊化設(shè)計(jì)

- 抽速大，壓比高

- 免維護(hù)

- 清潔無(wú)油

陶瓷滾珠軸承技術(shù)

所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤(rùn)滑。陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長(zhǎng)軸承和分子泵的壽命延長(zhǎng)。裝有脂潤(rùn)滑的陶瓷滾珠軸TURBOVAC

泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進(jìn)入高真空區(qū)域。

技術(shù)特點(diǎn)

TURBOVAC i

- 集成變頻器，24/48V DC 電源供電

- 切削成型轉(zhuǎn)子和全新復(fù)合級(jí)設(shè)計(jì)使分

　子泵具有超佳性能和較大抽速，對(duì)輕

　質(zhì)氣體尤為突出

- 任意方向安裝

- 的可靠性源于創(chuàng)新的軸承設(shè)計(jì)理

　念

- 設(shè)計(jì)靈活，適應(yīng)性強(qiáng)

- 市場(chǎng)上一款無(wú)油半磁浮分子泵

- 現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)（更換軸承），維修成本低，

　時(shí)間短

- 通訊接口齊全（標(biāo)配USB，RS485和

　15針數(shù)字I/O）

TURBOVAC iX

- 集成真空系統(tǒng)控制器配置靈活的通訊

　接口和附件控制接口（用于控制冷卻

　單元，閥門，規(guī)管和前級(jí)泵等）

- 附件齊全，即插即用

- 適應(yīng)性強(qiáng)，適合各類真空工藝

TURBOVAC T i, T iX

- 標(biāo)準(zhǔn)分子泵（不含復(fù)合級(jí)）

- 帶氣載能力強(qiáng)

- 耐粉塵

- 啟動(dòng)時(shí)間短

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典型應(yīng)用

- 分析儀器/科研

　- 質(zhì)譜儀

　- 電子顯微鏡

　- 表面分析儀

　- 加速器和同步加速器

　- X射線分析儀

　- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜系統(tǒng)

　- MBE

　- 超高真空系統(tǒng)

- 生命科學(xué)

　- 放射醫(yī)療

　- 伽馬射線滅菌

　- 高品質(zhì)植入物生產(chǎn)

- 工業(yè)和鍍膜應(yīng)用

　- PVD鍍膜設(shè)備

　- 光學(xué)鍍膜設(shè)備

　- CD/DVD/藍(lán)光光碟生產(chǎn)

　- 薄膜太陽(yáng)能

　- 進(jìn)樣室/轉(zhuǎn)移室/傳輸室

　- 電子束焊機(jī)

　- 檢漏/真空絕熱

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技術(shù)參數(shù)					TURBOVAC
	90 i / iX					250 i / iX
進(jìn)氣口法蘭	DN			63 ISO-K		100 ISO-K
				16 ISO-KF		16 ISO-KF
前級(jí)法蘭	DN			16 KF		16 KF
抽速
N2 Ar	I x s-1 I x s-1			90 83		225 210
He	I x s-1			90		250
H2	I x s-1			78		200
氣載量
N2 Ar	mbar x I x s-1 mbar x I x s-1			10 3		6 3
He	mbar x I x s-1			11		6
H2	mbar x I x s-1			11		>10
壓縮比
N2 Ar				1 x 1011 1 x 1011		1 x 1011 1 x 1011
He				-		-
H2				5 x 107		2 x 107
極限壓強(qiáng)(雙級(jí)旋片泵做前級(jí))ISO-K / CF			mbar	< 10-8 / < 10-10		< 10-8 / < 10-10
前級(jí)耐壓 N2			mbar	14		14
推薦的前級(jí)泵
TRIVAC				D 2,5 E/D 4 B		D 2,5 E/D 4 B
SCROLLVAC				SC 5 D		SC 5 D / 15 D
DIVAC				1 4 HV3		3 8 HV3
轉(zhuǎn)速		min-1 (rpm)		72 000		72 000
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)范圍		%		62 至 100		62 至 100
加速時(shí)間約		min		2		2
環(huán)境溫度要求
運(yùn)行		°C		+5 至 +45		+5 至 +45
		)
儲(chǔ)存		°C (°F)		-15 至 +70		-15 至 +70
冷卻方式標(biāo)配可選				對(duì)流風(fēng)冷或水冷		對(duì)流風(fēng)冷或水冷
水冷接口
				6 x 1軟管接頭		6 x 1軟管接頭
				或1/8"管螺紋		或1/8"管螺紋
冷卻水流量		l/h		30 至 60		30 至 60
冷卻水壓力要求(g)				3 至 6		3 至 6
冷卻水溫度要求		°C (°F)		+15 至 +35		+15 至 +35
噪聲對(duì)流冷卻帶徑向冷卻風(fēng)扇帶軸向冷卻風(fēng)扇		db(A)db(A)db(A)		< 41 < 44 < 49		< 41 < 44 < 49

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TURBOVAC	90 i	250 i
RS 485, USB+, 15-針 I/O 接口
高真空法蘭	63 ISO-K	100 ISO-K
產(chǎn)品號(hào)	810031V1000	820051V1000
高真空法蘭	63 CF	100 CF
產(chǎn)品號(hào)	810041V1000	820061V1000
高真空法蘭	40 KF
產(chǎn)品號(hào)	810011V1000

RS 232, USB+, 15-針 I/O 接口
高真空法蘭	63 ISO-K	100 ISO-K
產(chǎn)品號(hào)	810031V2100	820051V2100

TURBOVAC	90 iX	250 iX
RS 485, USB+, 15-針 I/O 接口
高真空法蘭	63 ISO-K	100 ISO-K
產(chǎn)品號(hào)	810031V3300	820051V3300
高真空法蘭	63 CF	100 CF
產(chǎn)品號(hào)	810041V3300	820061V3300