秉承萊寶Phoenix氦質普檢漏儀精準、穩(wěn)定、長使用壽命等優(yōu)點，萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀，為半導體、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業(yè)提供了更多的過程控制分析診斷支持.萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:檢漏判斷真空品質檢測工藝氣體提高品質和良品率故障診斷分析判斷低溫泵再生周期產品類別nbsp;nbsp; 產品系列分別提供了100、20......

詳細介紹

秉承萊寶Phoenix氦質普檢漏儀精準、穩(wěn)定、長使用壽命等優(yōu)點，萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀，為半導體、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業(yè)提供了更多的過程控制分析診斷支持.

真空系統泄漏示意圖-安博元

萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:

檢漏
判斷真空品質
檢測工藝氣體
提高品質和良品率
故障診斷分析
判斷低溫泵再生周期

產品類別

產品系列分別提供了100、200、300原子質量單位的解決方案。

LEYSPEC view版特別適用于高真空設備，科研、環(huán)境氣氛檢測及追蹤中的殘余氣體分析。
LEYSPEC ultra版用于復雜的殘余氣體分析，靈敏度高，耐烘烤溫度高，可檢分壓低。

更多信息請聯系萊寶：安博元科技 info

安博元科技無錫有限公司

地址：江蘇省無錫市梁溪區(qū)民豐路198號1207

電話：（周）

：

郵箱：info

郵箱：sales (銷售）

郵箱：tech (技術）

萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA 客戶受益：

過程可控
LEYSPEC自帶數顯，易于現場管理
贈送軟件易于使用及分析并有報警功能

萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型應用：

半導體生產設備
鍍膜、顯示行業(yè)
真空熱處理
真空干燥
研發(fā)

Leybold Name	LEYSPEC view 100	LEYSPEC view 100S	LEYSPEC view 200	LEYSPEC view 200S	LEYSPEC ultra 200S	LEYSPEC ultra 300S
Mass Range (amu)	1-100	1-100	1-200	1-200	1-200	1-300
Mass filter type	QMS	QMS	QMS	QMS	QMS	QMS
detector type	Faraday cup	EM/Faraday Cup	Faraday cup	EM/Faraday Cup	EM/Faraday Cup	EM/Faraday Cup
Sensitivity (A/mbar)	1x10-5	400/1x10-5	1x10-5	400/1x10-5	400/2.5x10-4	400/2.5x10-4
Minimum detectable partial pressure (mbar)	1x10-10	1x10-14	1x10-10	1x10-14	1x10-11	1x10-12
Max operating pressure (mbar)	1x10-4	1x10-4	1x10-4	1x10-4	1x10-4	1x10-4
Filament material	Ir/Y2O3	Ir/Y2O3	Ir/Y2O3	Ir/Y2O3	Ir/Y2O3	Ir/Y2O3
operating temp (°C)	10-40	10-40	10-40	10-40	10-40	10-40
Max sensing temp (°C)	120	120	120	120	250	250
Max. bake out temp (elec. removed) (°C)	250	250	250	250	300	300
connection flange	DN40CF	DN40CF	DN40CF	DN40CF	DN40CF	DN40CF
Power input	DC24V +-10% 50W	DC24V +-10% 50W	DC24V +-10% 50W	DC24V +-10% 50W	DC24V +-10% 50W	DC24V +-10% 50W
Weight (kg)	2,6	2,84	2,6	2,84	3,21	3,21
IP	30	30	30	30	30	30
Serial communication	RS232C/RS485	RS232C/RS485	RS232C/RS485	RS232C/RS485	RS232C/RS485	RS232C/RS485
Software	ECA	ECA	ECA	ECA	ECA	ECA
Resolution	M/DeltaM=1M(10%PH)	M/DeltaM=1M(10%PH)	M/DeltaM=1M(10%PH)	M/DeltaM=1M(10%PH)	M/DeltaM=1M(10%PH)	M/DeltaM=1M(10%PH)