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氦檢質譜漏儀的原理氦檢質譜漏儀可查找漏點位置并測定漏率（通過漏孔的氣體流量）。因此，氦質譜檢漏儀是一臺氦流量計。檢漏儀在工作過程中首先是對試驗對象進行抽真空，來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進入檢漏儀。檢漏儀利用內置氦質譜儀測量進入檢漏儀氣體氦分壓并將測量結果轉換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。重要技術規范測量范圍和響應時間是檢漏儀的兩個重要的參數。測量范圍用小和可檢漏率限定。小可檢漏率用靈敏......
氦檢質譜漏儀的原理
氦檢質譜漏儀可查找漏點位置并測定漏率（通過漏孔的氣體流量）。因此，氦質譜檢漏儀是一臺氦流量計。
檢漏儀在工作過程中首先是對試驗對象進行抽真空，來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進入檢漏儀。檢漏儀利用內置氦質譜儀測量進入檢漏儀氣體氦分壓并將測量結果轉換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。
重要技術規范
測量范圍和響應時間是檢漏儀的兩個重要的參數。
測量范圍用小和可檢漏率限定。
小可檢漏率用靈敏的測量范圍系統的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內系統噪聲幅度和零點漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀的零點漂移量非常小，所以一般僅采用噪聲幅度就可以確定檢漏儀的小可檢漏率。可檢漏率依賴于所采用的檢漏方法，利用逆流法和分流法（參見下面的說明）可以測量非常大的漏率。此外，檢漏儀內部的多級高阻抗輸入開關放大器也能提高檢漏儀測量大漏的能力。在實際的檢漏操作過程中特別是查找漏點的時候，響應時間十分重要。該時間指從用氦氣噴吹試驗對象直到檢漏儀顯示測量值所用的時間。電子信號調節電路系統的響應時間是總響應時間的重要組成部分。對于檢漏儀來說，電氣系統的響應時間遠小于1秒。
檢漏設備對氦的有效抽速決定了氦氣通過漏孔進入檢漏儀的時間（如果檢漏設備沒有輔助抽空的系統，檢漏儀內置的真空泵的大小會影響系統的響應時間）。檢漏系統的響應時間可根據下面的簡單公式計算：
氦響應時間 
(達到實際漏率95%的時間)
其中 V = 試驗對象容積
SHe = 檢漏系統對氦的有效抽速。
用標準漏孔校準檢漏儀
檢漏工藝要求準確地區分漏與不漏的試用對象，避免任何失誤。這就需要由標準漏孔（能產生已知氦漏率的人工漏孔）作為檢漏設備的基準。為了獲得準確的漏率數據，必須使用標準漏孔對校準檢漏儀進行校準。
萊寶真空可以提供采用不同原理設計的漏率范圍10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦標準漏孔。所有標準漏孔的漏率都可以追溯到PTB（ 聯邦物理技術協會） 和
DAKKS認證認可的標準。根據客戶的要求， 每個氦標準漏孔都可以提供由DAkkS認證認可委員會頒發的校準證書。校準工作由萊寶真空在PTB的DAKKS校準實驗室完成。
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PHOENIX L320i Fab是移動式檢漏系統，為需要高清潔度的室內運行設計。PHOENIX L300i MODUL用作氦檢漏設備，前級真空泵采用SCROLLVAC SC 30DL。
PHOENIX L320i Fab的兩個主要元件安置在外觀美觀、節約空間的底盤內。為了有效抑制微粒散發，前級真空泵安置在密封箱內，空氣從底部（風扇）進入。密封箱的側板易于拆除。PHOENIX L320i Fab配有各種附件，如氣瓶架、吸槍掛鉤和電源線以及前級真空泵的開關。
客戶得益
- 設計美觀的移動式檢漏儀
- 結構小巧
- 單獨的前級真空泵，抽速大
- 微粒產生少
- 能迅速準備就緒
- 可以快速定量地檢測出小漏
- 只集成了標準元件：維護簡單
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典型應用
如下質檢應用
- 要求高度清潔的環境運行的設備
- 研究和開發用設備
- 一次性產品
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