五、使用方法
SHSZ82型數字式四探計測試儀能夠測量普通電阻器的電阻（V/I之比，不乘系數）、體電阻率、薄片電阻率、擴散層的方塊電阻，（后三項需乘上不同的系數）。
1. 操作概述：
⑴測試準備：將220V電源插頭插入電源插座，電源開關置于斷開位置，工作選擇開關置于“短路"位置，電流開關處于彈出切斷位置。
將測試架的插頭與主機的輸入插座連接起來，松開測試架立柱處的高度調節手輪，將探頭調到適當位置和高度，測試樣品應進行噴砂和清潔處理，放在樣品架上，使探針能與其表面良好接觸，并保持一定壓力；調節室內溫度使之達到要求的測試條件。
⑵測量：
將電源開關置于開啟位置，數字顯示亮，儀器通電預熱1小時。
極性開關撥至上方，工作狀態選擇開關置于“測量"，撥動電流量程開關和電壓量程開關，置于樣品測量所適合的電流、電壓量程范圍，電流調節電位器調到適合的電流值（方法見“注意事項"），調節電壓表的粗調和細調調零，使數字顯示為“0000"，按下電流開關輸出恒定電流，即可由數字顯示板和單位顯示燈直接讀出測量值。如果數字出現閃爍，則表示測量值已超過此電壓量程，應將電壓量程開關撥到更上等；讀數后切斷電流開關，數字顯示將恢復到零位。在儀表處于高靈敏電壓檔時要經常檢查零位。再將極性開關撥至下方（負極性），按下電流開關，從數字顯示板和單位顯示燈可以讀出負極性的測量值；將兩次測量獲得的電阻率值取平均，即為樣品在該處的電阻率值。
測量電阻、方塊電阻時，可以按表1所示的電壓、電流量程進行選擇。
| 電流\電阻\電壓 | 0.2mV | 2mV | 20mV | 200mV | 2V |
| 100Ma | 2mΩ | 20mΩ | 200mΩ | 2Ω | 20Ω |
| 10mA | 20mΩ | 200mΩ | 2Ω | 20Ω | 200Ω |
| 1mA | 200mΩ | 2Ω | 20Ω | 200Ω | 2kΩ |
| 100μA | 2Ω | 20Ω | 200Ω | 2kΩ | 20kΩ |
| 10μA | 20Ω | 200Ω | 2kΩ | 20kΩ | 200kΩ |
表1 電阻及薄層電阻測量時電壓、電流量程選擇
測量電阻率時，預估的樣品電阻率范圍和應選擇的電流范圍對應關系如表2所示。
| 電阻率范圍（Ω-cm） | 電流檔 |
| <0.012 | 100mA |
| 0.008-0.6 | 10mA |
| 0.4-60 | 1MA |
| 40-1200 | 100μA |
| >800 | 10μA |
表2 測量電阻率所要求的電流值
根據國家標準及儀器性能，從保證測試精度考慮，在電阻率測試時，推薦用戶采用以下電流、電壓量程組合，見表3所示。
| 電流\電阻率\電壓 | 0.2mV | 2mV | 20mV | 200mV | 2V |
| 100mA | 10-4～10-3 | 10-3 | | | |
| 10mA | | 10-3～10-2 | 10-1 | | |
| 1mA | | 10-1 | 1～20 | 10～50 | 102～103 |
| 100μA | | | | 200～500 | 103～104 |
| 10μA | | | | | 105 |
表3 電阻率測量時推薦的電流電壓量程選擇
2. 注意事項：
⑴測量電流值的調節，工作選擇開關置于“I調節"位置，電流量程開關與電壓量程開關必須放在表4所列的任一組對應的量程上。
| 電壓量程 | 2V | 200mV | 20mV | 2mV | 0.2mV |
| 電流量程 | 100mA | 10mA | 1mA | 100µA | 10µA |
表4 電流調節和自校時必須對應的電流電壓量程
按下電流開關，調節電流電位器，可以使電流輸出在0～10.00范圍內，調到數字顯示出測量所需要的電流值（例6.28，4.53等）。當電流調節電位器的指針盤上的刻度旋轉到100時數字顯示為10.00，是相應電流量程的滿度值。電位器指針顯示的數值是粗略的電流值，準確的電流值應由數字表顯示讀出。在調節好某一量程電流輸出值后，其它各量程的電流會按此比例數字輸出，不同量程的電流值的顯示允許相差±2字。一旦電流值調節好后，不必每次測量都調節，只需觀察電流調節電位器指針是否處于對應的位置即可。
⑵儀器自校，儀器內部裝有精度為0.02%、阻值為19.96Ω的標準電阻，供校驗主機中數字電壓表和恒流源的精度之用。
自校時，工作選擇開關置于“自校"位置，電流量程開關和電壓量程開關按表4設置。
調節好電壓表零位，按下電流開關則數字顯示板顯示出“199×"，各量程數值允許相差±4字，如果數值超差，可以調節機內壓板上“I調節"窗孔內的電位器，使數字恢復到“199×"值。
⑶棒狀、塊狀樣品電阻率測量，按測量步驟進行，由表（5-3）選擇電壓電流量程。
若將電流I值調節到與C相等，（C≈6.28。C為探針修正系數。）則ρ=V，顯示值等于樣品的電阻率值。
⑷薄片電阻率測量，按測量步驟進行，根據表3選擇電壓和電流量程。
當薄片厚度>0.5mm時，按公式（3-3）計算ρ。
當薄片厚度<0.5mm時，按公式（3-4）計算ρ。
⑸方塊電阻測量，按測量步驟進行。電流電壓量程按表1選擇，當將恒流源輸出電流I 值調至等于4.53時，此時從數字表上讀出的數值再乘上10即為實際的方塊電阻值。
⑹電阻（V/I）測量，用四端子測量線作輸入線，按圖5所示夾持好樣品，按測量步驟進行；由表1選擇適合的電流和電壓量程；在“I"調節位置，將電流值調到該量程滿度值（10.00）；再轉至測量位置，此時數字表上讀出的數值為樣品的電阻值。
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