SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀
一、概述
SHST2248A型數(shù)字式多功能四探針測(cè)試儀(多功能微小電阻測(cè)試儀)是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量裝置，SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀（多功能四探針測(cè)試儀）可以測(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測(cè)量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。換上特制的四端子測(cè)試夾具，還可以對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開(kāi)關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。
SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀（多功能四探針測(cè)試儀）特贈(zèng)設(shè)測(cè)試結(jié)果分類功能，*大分類10類
SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀（多功能四探針測(cè)試儀）由主機(jī)、測(cè)試探頭（可選配測(cè)試臺(tái)）等部分組成。主機(jī)主要由數(shù)控恒流源、高分辨率ADC、鍵盤(pán)輸入、顯示驅(qū)動(dòng)及嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。
SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀（多功能四探針測(cè)試儀）所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤(pán)輸入；具有零位、滿度自校功能；自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，其電壓電流組合規(guī)則符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中關(guān)于半導(dǎo)體材料測(cè)試電壓電流選擇推薦要求；測(cè)試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長(zhǎng)；測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、測(cè)量簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。
SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀（多功能四探針測(cè)試儀）適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料、電阻器、開(kāi)關(guān)器件的電阻（率）性能的測(cè)試。特別適用于要求快速測(cè)量中低電阻（率）及要求結(jié)果分選的場(chǎng)合。
二、技術(shù)參數(shù)
1. 測(cè)量范圍、分辨率
電 阻： 1.0×10-3 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω
電 阻 率： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω-cm
方塊電阻： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ～ 0.1×103 Ω/□
2. 量程劃分及誤差等級(jí)
| 序號(hào) | 量程 | 有效測(cè)量范圍/F | 單位 | 誤差 | 備注 |
| 1 | 200.0 kΩ-cm/□ | 210.0～020.0 | kΩ-cm/□ | ±0.5%FSB ±1LSB （在各量程范圍內(nèi)） | 超量程:R＞250.0 kΩ或 ρ＞200.0 kΩ-cm或 欠量程: R＜20.0 mΩ ρ＜1.0 mΩ-cm 可測(cè)量，但誤差將隨超欠程度而變大 |
| 2 | 20.00 kΩ-cm/□ | 21.00～02.00 | kΩ-cm/□ |
| 3 | 2.000 kΩ-cm/□ | 2.100～0.200 | kΩ-cm/□ |
| 4 | 200.0 Ω-cm/□ | 210.0～020.0 | Ω-cm/□ |
| 5 | 20.00 Ω-cm/□ | 21.00～02.00 | Ω-cm/□ |
| 6 | 2.000 Ω-cm/□ | 2.100～0.200 | Ω-cm/□ |
| 7 | 200.0 mΩ-cm/□ | 210.0～000.0 | mΩ-cm/□ |
3. 可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸
直 徑： 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm，其他方式不限.
長(zhǎng)（或高）度： 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
4. 測(cè)量方位
軸向、徑向均可
5. 數(shù)字電壓表：
⑴量程：10mV ～ 100 mV，自動(dòng)
⑵顯示: 4位有效數(shù)字，*大顯示999.9 小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示
6. 數(shù)控恒流源
電流輸出：直流電流2µA～100mA可調(diào)，系統(tǒng)自動(dòng)步進(jìn)調(diào)整。
7. 四探針測(cè)試探頭：
⑴探 針 間 距： 1mm
⑵探針機(jī)械游移率： ±1.0%
⑶探 針： 碳化鎢，Φ0.5mm
⑷壓 力： 0～2kg可調(diào),*大壓力約
2kg
8. 電源：
功 耗：< 3W
輸入:220V±10% 50Hz
9. 本儀器工作條件為：
溫 度： 23℃±2℃
相對(duì)濕度： ≥60%
工作室內(nèi)應(yīng)無(wú)強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾，不與高頻設(shè)備共用電源。
10. 外形尺寸：
主機(jī) 180mm（長(zhǎng)）×200 mm（寬）×70mm（高）
相關(guān)產(chǎn)品：Fluke17B數(shù)字萬(wàn)用表；VC9802A+數(shù)字萬(wàn)用表；FGW3866系列寬帶大功率信號(hào)源；REKRK1212系列大功率信號(hào)源；SUINSA3602A全自動(dòng)失真度測(cè)試儀；HUAYISH1946系列高精度交直流電壓表；HUAYISH1911D真有效值寬頻交流電壓表；HUAYISH1912三值（平均值，有效值，峰值）交流電壓表；SUINSM2050A智能數(shù)字交流毫伏表; HUAYISH1948系列高精度交直流電流表；SWY1972PA高頻數(shù)字電壓電流表；SHQJ36S2智能高精度微小電阻測(cè)試儀；HUAYISH1941 數(shù)字式微歐計(jì)；TAIOUZC90E (防靜電)表面電阻測(cè)試儀；TAIOUPC57電纜電阻測(cè)試儀 ；FGSH200A智能開(kāi)關(guān)接觸電阻測(cè)試儀；SUINSS7301智能頻率計(jì)數(shù)器；SHLCRZL5智能電感電容電阻測(cè)試儀；SUINSA5051RS高精度臺(tái)式萬(wàn)用表；HP系列示波器探頭；FGS2571防雷接地電阻測(cè)試儀；FGS2671系列多電壓絕緣電阻測(cè)試儀
會(huì)員1.png)
