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適合苛刻應用的高性能產品
采用單膜片可變電容感應元件,適用于苛刻的半導體和工業真空應用。它具有讀數精度和分辨率高、動態范圍寬的特點,使之成為關鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設計保證通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料, 因此對半導體和工業真空過程中的腐蝕性介質具有非常高的耐受性。
Inconel®材料結合全焊接結構, 確保730型在這類應用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業電容式壓力計不同,730型測量直接壓力, 不受被測混合氣的影響,這使其精度優于間接測量型壓力計。
應用
·半導體處理室
·石化
·等離子體**器
·真空包裝
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