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TXY970質(zhì)量流量計(jì)

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更新時(shí)間：2021-12-14 14:42:05瀏覽次數(shù)：168次

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北京天星盛世科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品概述：

TXY970質(zhì)量流量計(jì)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。TXY970采用熱式測(cè)量原理，直接用兩支快速反應(yīng)的鎧裝傳感器測(cè)量氣體流量。由于沒(méi)有層流元件，并采用哈氏合金傳感器，用于易結(jié)晶和腐蝕性的氣體測(cè)量。對(duì)低壓管道或者壓力損失小的應(yīng)用，TXY970也同樣適用。

二、使用范圍：

它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

三、產(chǎn)品特點(diǎn)：

●直接熱式原理，無(wú)層流元件
●無(wú)壓損,抗結(jié)晶,抗腐蝕
●適用于各種低壓和高壓管道
●精確測(cè)量和控制氣體的質(zhì)量流量
●預(yù)熱時(shí)間短,零漂小，可靠性高
●多種氣體可選,也可自行輸入