響應式氣體流量控制，抑制壓力波動

性能的質量流量控制器只需將流量保持在您的設定值。艾里卡特MC系列氣體質量流量控制器可快速達到新的設定值，并保持該設定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據您的應用參數為您定制閥門和PID調節功能，確保相關產品能快速實現穩定控制。

• 多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
• 連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
• 耐用。可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性，我們可為您的MFC構建IP66等級防護。

更多產品信息請查看質量流量計、質量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器。

• Specs
• 定制
• 零件編號
• Applications

性能

• 可用量程：大0-5000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）
• 可調比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
• 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
• 可重復性：0.2%滿量程
• 標準質量流量控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
• 無需預熱時間

工作條件

• 兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 大內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）

包裝清單

• MC系列氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉換線纜
• BB3和BB9多點式集線盒
• Flow Vision軟件