單晶硅差壓變送器作為一種高精密的測量儀器,在自動化領域的應用非常普遍和意義重大。在大多數的重要工業領域都得到廣泛的應用,如火力發電、核電、石油冶煉、化工、鋼鐵、造紙、制藥、食品、水泥制造等領域。
這種單晶硅電阻式傳感器的輸出靈敏性高、信號量大、回差極小,并且電路設計較為簡潔可靠,所以上較多變送器制造廠商優先采用此方案進行變送器的研發和制造。但是較之上文提及的金屬電容式傳感器和單晶硅諧振式傳感器,單晶硅電阻芯片的應用具有較為特殊的工藝要求。主要表現在硅芯片的無應力封裝技術和硅薄膜的單向過載保護技術方面。
單晶硅差壓變送器優勢表現為:
1.準確度等級達到0.05級,并取得計量器具制造許可證;
2.差壓變送器zui高工作靜壓可達40MPa,單向過載壓力zui高可達40MPa;
3.微差壓變送器采用*的雙過載保護膜片技術,可達±0.075%的高測量精度,zui大的工作靜壓達到16MPa,zui小的測量差壓為-50Pa~50Pa;
4.差壓傳感器內部可選封裝絕壓傳感器,可用于現場工作靜壓的測量和顯示,也可應用于靜壓補償,使得單晶硅壓力變送器的靜壓性能,使得典型規格的靜壓誤差*為≤±0.05%/10MPa。同時,由于內部絕壓傳感器的集成,保證了多參數變送器的成功研發,可廣泛用于氣體流量的測量領域,并*了國內多參數變送器的空白。
5.壓力、差壓傳感器內部集成的高靈敏度溫度傳感器,使得變送器溫度性能,*為≤±0.04%/10K;
6.6kPa和40kPa微壓力量程表壓/絕壓變送器可選用*無傳壓損耗過載保護膜片技術,單向過壓zui高達7MPa,大幅拓寬了微壓力傳感器的特殊領域的應用范圍;
7.典型規格的長期零位漂移量≤±0.1%/3年,并通過12萬次90%的量程的極限壓力疲勞測試,達到了10年免維護的能力;
8.實現了極寬的測量范圍0-100Pa~60MPa,zui高100:1的可調節量程比輸出;
9.遠傳變送器采用*的超高溫技術,可應用于400℃超高溫測量場合,突破了遠傳產品應用和測量的瓶頸。