| 型號 | PSD2 | PSD4-STD（標準） | PSD4-HFV（高流量） | PSD4-HPO（高壓輸出） |
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| 性能 |
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| | 出氣量 |
| 流量 | 7 Nl/min (14.8 scfh) | 30 Nl/min (63.6 scfh) | 90 Nl/min (109.7 scfh) | 30 Nl/min (63.6 scfh) |
| 壓力 | 0.5 barg (7 psig) | 用戶高可設置為8 barg(116 psig) |
| 濕度 | <1ppmv | <13.8ppbv |
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| 供氣要求 |
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| | 供氣 |
| 流量 | 10 Nl/min (21.2 scfh) | 30 Nl/min (63.6 scfh) | 90 Nl/min (109.7 scfh) | 30 Nl/min (63.6 scfh) |
| 壓力 | 5 ~ 7 barg (70 ~ 100 psig) | 6 ~ 10 barg (87 ~ 145 psig) |
| 濕度 | 不含油和液態水 | <16ppmv |
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| 電氣參數 |
| 電源 | 100 ~ 115 或 220 ~ 240 VAC, 50/60Hz | 100 ~ 240VAC 50/60Hz |
| 電源連接 | IEC 插座 |
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| 環境條件 |
| 工作溫度 | +5 ~ +35°C (+41 ~ +95°F) | +10 ~ +40°C (+50 ~ +104°F) |
| 儲存溫度 | -40 ~ +35°C (-40 ~ +95°F) | -40 ~ +50°C (-40 ~ +122°F) |
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| 機械參數 |
| 類型 | 兩個干燥柱，變壓切換 |
| 干燥劑 | 4 A分子篩干燥劑（4-8目） |
| 所需的量（近似值） | 2 Kg | 3.5 Kg |
| 計時器 | 機械凸輪 | 可編程繼電器 |
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| | 氣體連接 |
| 入口 | Swagelog ® ¼" | ¼" VCR Swagelok® |
| 出口 | Swagelog ® ¼" | ¼" VCR Swagelok® | ½" VCR Swagelok® | ¼" VCR Swagelok® |
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| | 過濾器 |
| 出口 | 無 | Millipore Wafergard IIF Micro Inline（密封型）PTFE圓片過濾膜，對0.003pm顆粒的過濾效果>99.999% |
| 排氣口 | 無 | 粘結玻璃微纖維，對0.1μm顆粒的過濾效果>99.999% |
| 結構 | 機架安裝：19” x 6U x 324mm (12.8”) | 304不銹鋼壁掛式外殼：800x600x300mm (31.5x24x12”) |
| 重量 | 12.5kg (27.5lbs) | 30Kg (66lb) | 35Kg (77lb) | 32Kg (70lb) |
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