上海屹持光電技術有限公司
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| 產地 | 進口 | 加工定制 | 否 |
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非接觸式硅片厚度測量儀SIT-200由精確可調激光光源，聚焦傳感器，光學接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標上，由目標表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經過聚焦傳感器后由光學探測器進行檢測。非接觸式硅片厚度測量儀 光學儀器
非接觸式硅片厚度測量儀 光學儀器
非接觸式硅片厚度測量儀SIT-200由精確可調激光光源，聚焦傳感器，光學接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標上，由目標表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經過聚焦傳感器后由光學探測器進行檢測。
SIT-200產品特點：
全光學，非接觸硅片厚度測試
高動態范圍測量粗糙表面
濕法刻蝕過程中實時測量
高靈敏度 高精度 快速測量 遠程控制
產品參數：
測量目標 | 硅片 |
測量厚度 | 10-500μm |
光源 | 1515-1585nm掃描 |
功率 | 0.6mw，Class1 |
指示光源 | 紅光，Class1M |
測量時間 | 20ms |
重復性 | 0.1μm |
輸出監控 | 干擾信號（電學） |
PC接口 | 網口 |
供電 | 100-240V，50/60Hz |
尺寸 | 364 x 147 x 391mm |
重量 | 9kg |
非接觸式硅片厚度測量儀SIT-200
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