SF6充氣設備的真空處理方法探析
SF6充氣設備具有良好的絕緣及滅弧性能，在電網中使用十分普遍。此類設備在安裝及檢修過程中，必須對設備進行真空處理。真空處理的要求十分嚴格，但在此過程中存在真空裝置與施工人員因各種問題出現失誤的可能。如何避免出現問題，需要對真空處理過程中易出現的失誤進行分析。
1 SF6設備真空處理現狀
在SF6充氣設備的安裝和檢修過程中，由于施工單位的施工器具及人員素質參差不齊，存在多種不利于真空處理嚴格按照規范實施的因素。對于真空處理裝置，在對SF6充氣設備抽真空過程中，常出現未使用出口帶電磁閥的裝置的情況。真空處理的持續時間與被抽真空的密閉氣室容積有關，在對容積較大的氣室抽真空時，為了達到真空度要求，真空裝置需要長時間運行。在此過程中，如果裝置電源故障，則出口不帶電磁閥的裝置便無法滿足使用要求。在真空度測量方面，使用麥氏真空計直接對SF6充氣設備進行真空度測量的方法也不可取。
SF6充氣設備為密封設備，已進行真空處理，并充入SF6氣體的設備無法通過外觀檢查發現問題，存在一定的安全隱患。為了避免事故的發生，需回收SF6并重新進行真空處理，這將耗費大量的時間和物力，進而造成了不必要的浪費。
2 真空處理裝置的使用分析
2.1 目的與標準
SF6設備在生產、運輸、安裝的過程中，其內部微觀結構比較粗糙，且在大氣環境下極易受潮。進行真空處理的目的主要是去除設備內部的水分，而水在真空度為133 Pa左右的氣化速度最快。
此外，真空度的保持也能作為設備檢漏的重要依據?！陡邏洪_關設備六氟化硫氣體密封試驗方法》（GB 11023―1989）的第4.1.1條規定，抽真空檢漏應在真空度為113 Pa后，維持真空泵運轉30 min后停泵，30 min后讀取真空度A，5 h后再讀取真空度B，如果B-A
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