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(一) 總則 

1.1六氟化硫氣體回收充氣裝置，使用人員應具備設備使用基本操作方法和設備運轉流程。 

1.2六氟化硫氣體回收充氣裝置設備主要功能：抽真空、回收氣體、充氣、氣體干燥、氣體液化、氣體汽化等。 1.3設備采用設備負責人制度，設備負責人負責設備的使用、維護、及保養工作。操作使用設備至少兩人參加。 1.4設備參數 

1.4.1設備性能參數 

1) 設備電源為380V 

2) 工作環境溫度  -10～+40℃3) 工作環境：周圍無腐蝕性化學物品，通風良好。不受其它熱源輻射的地方運行。1.4.2設備主要部件參數1) SF6壓縮機功率?3.0KW???????????????潤滑油?HD25冷凍油最小允許吸氣壓力53KPa??????????最大允許吸氣壓力0.3MPa?允許排氣壓力?1.96Mpa?????最大排氣壓力?2.50Mpa?2) 真空泵抽氣速度?15L/s???????????極限真空≤6×10-2?????????????????????

潤滑油?HD25冷凍油功率2.2KW?3) 制冷機組標準制冷量?4600Kcal/h????制冷劑R22??????????????????制冷劑最大充注量?2.5Kg????????潤滑油?HD25冷凍油4) 容器儲存容器容積180L???????儲存容器儲液量?180Kg??????液化容器容積?40L???????????????液化容器儲液量?40Kg?1.4.3設備技術參數1) 回收初壓力?0.8Mpa???????????終壓力≤0.053?????????????1立方米容積所須時間≤0.4h/m3?

2) 充氣初壓力≤133Pa????????????終壓力≤0.7Mpa??????????????1立方米容積所須時間≤0.2h/m3

3) 抽真空極限真空≤10Pa???????????年泄露率≤1﹪抽真空從0.1Mpa至133Pa需要時間≤0.25h/m3????????????

真空保持從133Pa經24小時上升值≤400Pa??4) 儲存容器儲存壓力3.9Mpa??????????容積220L?儲液量220kg?5) 總功率≤11kw?6) 設備自重≤1000kg?

*從0.08Mpa表壓回收到0Mpa表壓時間小于0.12小時/立方米。??*從0Mpa表壓回收到0.053Mpa時間小于0.28小時/立方米。*管道通徑為DN2O，管道長度5米。?*指氣源含水量為1000PPM/V時，經一次回收干燥后氣體含水量。(二) 操作前準備工作2.1設備的管路連接：采用專用的鋼編軟管連接、軟管連接頭，連接處用密封圈密封。2.2檢查電源相序：接上電源后，設備儀表和指示燈不亮時，則相序錯誤。搬動相序轉換后設備可恢復正常。(三) 操作順序及方法3.1裝置自身抽真空a) 首先確認裝置全系統無壓力。若有壓力，需開啟相關閥門將壓力放空至0表壓。隨后用軟管將裝置進口和出口連接起來，依次開V2、V3、V4、V7、V8、V9、V71（V71置于右側板門內）。b) 觀察進氣口壓力表M1，確定進氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。若進氣口壓力表M1顯示大于0表壓，應先排空系統內的壓力使進氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。c) 啟動真空泵電源，打開V1，對裝置自身抽真空。d) 開真空計電源，觀察真空度。e) 當真空計VM顯示達到極限真空后，依次關真空計電源、V71、V9、V8、V7、V4、V3、V2、V1，關閉真空泵電源，抽真空結束。3.2對開關設備抽真空a) 用軟管將開關設備與裝置進口端連接起來。b) 開V2和開關設備的閥門。c) 確定進氣口壓力表M1顯示不大于0表壓后，啟動真空泵電源，開啟V1，對開關設備抽真空。d) 開真空計電源，觀察真空度。當真空計VM顯示達到所要求值后，依次關真空計電源，關設備閥門、V2、V1、和真空泵電源，抽真空結束。3.3回收儲存a) 啟動制冷機組，開V7和V9，使液化容器和儲存容器內壓力（由壓力表M4和M5指示）低于1.0～1.5Mpa,關V7和V9。b) 將軟管與裝置進口端連接起來。c) 開V2，確定進氣口壓力表M1在0表壓以下后，啟動真空泵電源，開V1對軟管抽真空。d) 開真空計電源，當真空機VM顯示達到極限值時，可以認為軟管內空氣已抽凈，依次關真空計電源、V1、V2和真空泵電源。e) 把軟管與開關設備連接，依次開啟V2、V5、V8、V9、壓縮機電源，調節減壓閥V61（出廠已整定，一般不需要調節）使壓縮機進氣口壓力表M2顯示小于0.15Mpa,對容器內的SF6氣體

進行回收，同時進行凈化和儲存。f) 當壓縮機進氣口壓力表M2低于-0.05Mpa或達到所要求回收終壓時，依次關開設備閥門、V2、V5、V8、V9、壓縮機電源、制冷機組電源，回收結束。3.4利用儲存容器內部壓力充氣a) 將軟管與裝置出口端連接起來。根據不同用途，必要時可在裝置出口端加裝減壓器。b) 對軟管抽真空（開V3、真空泵和V1，方法同上。結束時注意關閉V3、V1、真空泵、真空計、把軟管與開關設備連接）。c) 開V9，使SF6液化容器內可能存有的SF6液體流入SF6液態儲存容器，再開開關設備閥門，慢慢打開V4，向SF6開關充氣。d) 若充氣后儲存容器內的SF6氣體壓力下降與被充開關壓力趨于仍有液體存在時，可打開SF6氣化電加熱器，是液態SF6充分氣化，以提高儲存容器內SF6氣體壓力。e) 當開關設備內達到所需壓力值時，應先關閉氣化電加熱器電源，在關閉V9、V4、開關設備閥門，開關設備閥門，充氣結束。3.5利用壓縮機充氣a) 當儲存容器（包括SF6儲存容器和SF6液化容器）內壓力低于開關設備所需的工作壓力，且液位計已看不到液位，而開關仍需少量SF6氣體時，才能用此操作。b) 連接軟管至裝置出口端。并對軟管抽真空。c) 開啟開關設備閥門、V8、V4，然后再開V6和壓縮機電源，對開關設備充氣。d) 當開關設備內達到所需壓力值時，關V6和壓縮機電源、V8、V4、開關設備閥門充氣結束。3.6對鋼瓶充灌SF6液體準備工作：a) 用軟管將鋼瓶與裝置出口端連接起來，并對軟管抽真空。b) 根據需要可回收并抽凈鋼瓶內殘余的SF6氣體至負壓，必要時，可對鋼瓶抽真空。方法：在SF6液態儲存容器液位已達極*充灌鋼瓶a) 開V7、制冷機組電源，在制冷機組作用下，使SF6液化容器內的SF6不斷增加已達到一定的液位，關閉V7，并使SF6溫度TM繼續降至-10～0℃左右。b) 同時打開SF6液態儲存容器氣化電加熱器，使SF6液態儲存容器內的SF6壓力上升至3.0Mpa左右。c) 開鋼瓶閥門V4，開V7加壓，向鋼瓶充灌SF6液體，一般可充45kg。d) 結束時，關V7、鋼瓶閥門、V4、氣化電加熱器，開V3、V5、V8,用壓縮機將軟管內SF6液體回收到液化容器內后，關閉所有閥門，停機。3.7?SF6氣體的循環干燥凈化處理a) 啟動制冷機組，開V7和V9,使液化容器和儲存容器內壓力（由壓力表M4和M5指示）低于1.0～1.5Mpa,關V7和V9。b) 開V8、V9，開壓縮機電源，開V6，進行循環干燥凈化處理。c) 循環干燥凈化處理一段時間（約半小時）后，關V6、壓縮機電源、V8、V9，和制冷機組電源，循環干燥凈化處理結束。3.8分子篩再生a) 開V71和V3，先將干燥過濾器內的SF6氣體放凈。b) 確定進氣口壓力表M1在0表壓以下后，關V3，啟動真空泵電源，開V1和真空泵電源，開V1和真空計電源，對干燥過濾器抽真空。c) 開干燥過濾器電加熱電源，持續約4小時。關閉干燥過濾器電加熱電源，繼續抽真空直到干燥過濾器冷卻到室溫。d) 關真空計電源、V71，最后關V1和真空泵電源。（四）注意事項1. 當環境溫度低于5℃時，應對真空泵、SF6壓縮機進行預熱，提高潤滑油溫度后，才能啟動。2. 電源線中的接地線必須可靠接地。3. 不操作分子篩再生時，禁止啟動干燥過濾器電加熱器。4. 當M1表指示被抽容器壓力大于0表壓，禁止啟動真空泵、真空計。5. 真空泵、壓縮機、制冷機組不得頻繁啟動。6. 不做SF6氣化加壓時，禁止啟動氣化加熱器。7. 回收、充氣或灌鋼瓶操作前先對連接膠管抽真空。8. 操作加熱器時，應注意儲存容器溫度不宜超過+30℃。9. 操作制冷機組時，應注意液化容器溫度不宜低于-30℃。10. 做其他實驗時，應斷開設備電源和連接軟管，以免損壞設備。