流程說明：
1、SF6氣體的回收
當SF6從一個氣室中抽出時，氣體便自動地流經凈化過濾器，通過SF6壓縮機壓縮冷卻，可以氣態也可以在一定高壓下以液態形式儲入SF6貯罐。
2、SF6開關抽真空
通過真空泵把開關中的空氣及濕氣可以抽除，真空泵的出口通向大氣。
3、充氣
經凈化和干燥的SF6從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，直到氣室內壓力達到調定的工作壓力。上述工作分兩個步驟進行:
借助SF6貯罐壓力使氣體流向SF6開關，直至達到預定的充氣壓力。
2、當SF6貯罐壓力與SF6開關壓力平衡時，再采用壓縮機進行加壓充氣，直至達到預定充氣壓力。
GIS設備SF6抽真空裝置裝置功能
1. 對裝置本機以及電器設備、貯罐、抽真空和真空度的測量
2. 對電器設備中的氣體進行回收
3. 對回收和回充的SF6氣體進行干燥、凈化處理
4. 對SF6電器進行充氣
5. 對電器中SF6氣體進行壓縮液態貯存
組成部件優點:
(1)設計*，功能齊全，結構合理，操作簡潔明了。
(2)壓縮系統:采用SF6封閉壓縮機，無泄漏。
(3)抽真空系統采用旋片式真空泵，有自動防止返回油裝置。
(4)凈化系統采用日本CKD公司原理過濾器，過濾器采用電加熱及內裝高效吸附劑，凈化效果更顯著(無需頻繁更換吸附劑)。
(5)裝置電氣系統三相電源自動確認、斷相自動保護。
(6)裝置控制系統采用技術的SF6閥門
主要配置：
1、SF6壓縮機要求:CA-0300封閉壓縮機
a:理論排氣量:12m3/h
b:大排氣壓力:2.5Mpa
c:小吸氣壓力:50Kpa
d:大吸氣壓力:0.35~0.8 Mpa
e:功率:2.2KW
f:電源:380V 50HZ
2、真空泵采用:雙級旋片式真空泵
a:真空泵采用水冷式
b:抽真空速率4L/s
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