一、項目基本情況

項目編號：0664-2540SUMECZF037

項目名稱：東南大學(xué)集成電路學(xué)院12寸等離子增強氣相沉積采購

預(yù)算金額：1650.000000 萬元（人民幣）

最高限價（如有）：1650.000000 萬元（人民幣）

采購需求：

集成電路學(xué)院采購12寸等離子增強氣相沉積1套，主要技術(shù)要求如下：

1.設(shè)備功能：實現(xiàn)直徑12寸及以下尺寸晶圓表面的薄膜沉積，包括SiOx、SiCN、SiCOH等類型薄膜的沉積。

2.含有設(shè)備前端模塊（EFEM)一套，其內(nèi)部配備有全自動機(jī)械手用于取放晶圓，外圍有高效過濾器（FFU)控制空氣潔凈度，有3個晶圓盒承載臺和6個冷卻平臺。

3.EFEM可兼容450℃以上溫度的工藝。

本項目不接受進(jìn)口產(chǎn)品。

本項目所屬行業(yè)：工業(yè)。

本項目(非專門)面向中小企業(yè)采購。

本項目(非專門)面向監(jiān)獄企業(yè)采購。

本項目(非專門)面向殘疾人福利性單位采購。

項目編號：0664-2540SUMECZF037（SEU-ZB-250170）

合同履行期限：合同簽訂后6個月內(nèi)設(shè)備安裝調(diào)試合格。

本項目( 不接受  )聯(lián)合體投標(biāo)。

二、申請人的資格要求：

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；

2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：

無。

3.本項目的特定資格要求：無。4.拒絕下述供應(yīng)商參加本次采購活動：（1）供應(yīng)商單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在直接控股、管理關(guān)系的不同供應(yīng)商，不得參加同一合同項下的政府采購活動。（2）凡為采購項目提供整體設(shè)計、規(guī)范編制或者項目管理、監(jiān)理、檢測等服務(wù)的供應(yīng)商，不得再參加本項目的采購活動。（3）供應(yīng)商被“信用中國”網(wǎng)站（www.creditchina.gov.cn）、“中國政府采購網(wǎng)”(www.ccgp.gov.cn)列入失信被執(zhí)行人、稅收違法黑名單、政府采購嚴(yán)重違法失信行為記錄名單。

三、獲取招標(biāo)文件

時間：2025年05月09日  至 2025年05月15日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京時間，法定節(jié)假日除外）

四、提交投標(biāo)文件截止時間、開標(biāo)時間和地點

提交投標(biāo)文件截止時間：2025年05月29日 09點30分（北京時間）

開標(biāo)時間：2025年05月29日 09點30分（北京時間）

地點：南京市長江路198號蘇美達(dá)大廈輔樓303會議室

五、公告期限

自本公告發(fā)布之日起5個工作日。