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儀表網 儀表標準】12月24日,全國幾何量長度計量技術委員會發布了《透射
電子顯微鏡校準規范》征求意見,現面向相關單位和專家征求意見,意見反饋郵箱wangwn@nim.com.cn。
透射電子顯微鏡(簡稱“透射電鏡”)是把經加速和聚集的電子束投射到具有薄區的試樣上,電子束穿透試樣并與之作用,形成明暗不同的影像或衍射花樣,并在放大、聚焦后在成像器件上顯示出來。透射電鏡的分辨率極高,能夠同時獲得樣品的顯微形貌、尺寸、化學成分、晶體結構等信息,在納米材料、生物醫藥、新能源等領域中被廣泛應用。
由于磁透鏡和電子槍的電流隨時間的變化等因素使得透射電鏡的測量長度值會產生誤差,有些值的誤差可達到10%,影響測量結果準確性。因此,迫切需要建立透射電鏡的量傳體系,為納米技術領域的精準測量提供技術保障。
本規范主要依據JJF1071-2010《國家計量校準規范編寫規則》進行編制,JJF1001-2011《通用計量術語及定義》、JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》、JJF 1094-2002《測量儀器特性評定》共同構成支撐校準規范制定工作的基礎性系列規范。
本規范為制定,主要技術內容和計量特性參考了JJG(教委)011-1996《透射電子顯微鏡檢定規程》和GB/T 34002-2017《微束分析 透射電子顯微術 用周期結構標準物質校準圖像放大倍率的方法》的部分內容。
本規范按照JJF 1071—2010《國家計量校準規范編寫規則》的要求制定透射電子顯微鏡校準規范,在內容和格式上與JJF 1071—2010保持一致。校準規范的具體內容有范圍、應用文件、術語和定義、概述、計量特性、校準條件、校準項目和校準方法、校準結果的表達、復校時間間隔等。
本規范參考JJG(教委)011-1996《透射電子顯微鏡檢定規程》和GB/T 34002-2017《微束分析 透射電子顯微術 用周期結構標準物質校準圖像放大倍率的方法》,確定透射電子顯微鏡4項計量特性,分別為測長示值誤差、測長重復性、正交性誤差和漂移速率。針對每一校準項目,規定了使用的標準樣品,明確了相應的校準操作。
本規范中的技術指標和校準方法均進行了實驗驗證;依據JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》對儀器測長示值誤差測量結果的不確定度進行分析,進一步驗證了所采用的測量方法合理、可行。
本規范是針對透射電子顯微鏡校準制定的計量技術規范。本規范適用于透射電子顯微鏡的校準。(更多詳情請見附件)
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