【儀表網 儀表標準】全國新材料與納米計量技術委員會為了使國家計量技術規范能廣泛適用和更具可操作性，特向全國有關單位征求《X射線能譜儀校準規范》意見和建議，征求意見截止時間為2019年12月31日。意見反饋郵箱MTC29@nim.ac.cn。
此次征求意見是根據國家市場監督管理總局2018年國家計量技術法規制/修訂計劃，受全國新材料與納米計量技術委員會的委托，由山東省計量科學研究院、中國計量科學研究院和蘇州市計量測試院負責制定《X射線能譜儀校準規范》技術規范的工作。
X射線能譜儀是對材料微區成分元素種類與含量進行分析的一種儀器。近幾十年來, 隨著掃描電子顯微鏡、電子探針儀和透射電子顯微鏡的普及，這些大型分析儀器也都相應地裝配了X射線能譜儀，廣泛地應用于冶金學、地質學、物理學、動物學、醫藥學、環保學等科學領域，分析的對象包括半導體材料、電子封裝材料、催化劑、聚合物、建材、生物材料等，是應用廣泛的元素分析儀器之一。
本規范主要依據JJF1071-2010《國家計量校準規范編寫規則》進行編制，JJF1001-2011《通用計量術語及定義》、JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》、JJF 1094-2002《測量儀器特性評定》共同構成支撐校準規范制定工作的基礎性系列規范。
本規范為制定，主要技術內容和計量特性參考了GB/T 17359-2012《能譜法定量分析》、GB/T 20726《半導體探測器X射線能譜儀通則》、GB/T 21636—2008 微束分析 電子探針顯微分析(EPMA)術語和GB/T 25189-2010《微束分析 掃描電鏡能譜儀定量分析參數的測定方法》的部分內容。
由于儀器原理、操作條件和試樣標準的不同，本標準僅適用于掃描電子顯微鏡(SEM)和電子探針儀(EPMA)裝配的X射線能譜儀。在校準前，需確保儀器處于正常的工作狀態及沒有影響校準計量性能的因素。所用的標準樣板應確保表面潔凈，避免劃痕、腐蝕和氧化。X射線能譜儀應預熱30分鐘以上，直至工作穩定。(具體內容詳見附件)
資料來源：全國新材料與納米計量技術委員會
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