【儀表網(wǎng) 儀表會議】2019年4月25日和26日，上海市計量測試技術(shù)研究院材質(zhì)中心理化室聯(lián)合分析儀器巨頭安捷倫公司在上海和江蘇無錫舉辦了兩場“ICP-MS分析技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用專題研討會”。參加此次研討會的單位既有中芯、華力半導(dǎo)體等集成電路產(chǎn)業(yè)，又有諸如多氟多、晶瑞化學(xué)等新興民營電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)，與會人員近百人。
此次會議也是依托于上海市計量測試技術(shù)研究院的“上海市電子化學(xué)品計量檢測技術(shù)服務(wù)平臺”(以下簡稱“平臺”)的一項重要對外服務(wù)活動。會上上海市計量測試技術(shù)研究院技術(shù)人員介紹了“平臺”的功能和服務(wù)內(nèi)容，分享了ICP-MS分析技術(shù)在集成電路產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的發(fā)展現(xiàn)狀。
安捷倫公司特邀其日本技術(shù)中心的專家介紹了其產(chǎn)品30年來在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用中的技術(shù)革新及應(yīng)用進展。研討會氣氛熱烈，得到了與會人員的一致好評。
近幾年，在市場需求和國家政策的推動下，我國半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)正在經(jīng)歷著的發(fā)展變革。隨著芯片制程工藝水平的不斷提升，對各類材料及化學(xué)品的品控要求近乎苛刻，雜質(zhì)的檢測要求已達十億分之一的級別，對檢測方法和檢測設(shè)備都提出了全新的要求。
在此背景下，上海市計量測試技術(shù)研究院與安捷倫公司強強聯(lián)合，為上海及周邊地區(qū)的集成電路及電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)及研發(fā)機構(gòu)，提供了一次很好的學(xué)習交流機會，共同探討了我國集成電路技術(shù)的發(fā)展和ICP-MS在半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用的技術(shù)革新和前沿發(fā)展成果。
(原文標題：我院與安捷倫公司聯(lián)合舉辦ICP-MS應(yīng)用研討會)
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