【儀表網 儀表研發】據上海計測院消息，近日，國家科技部組織技術專家和財務專家組成評估專家小組，對上海計測工程設備監理有限公司牽頭開展的國家重大科學儀器設備開發專項——“跨尺度微納米測量儀的開發和應用（2014YQ090709）”開展了中期評估現場檢查。
　　

　　“跨尺度微納米測量儀的開發和應用”項目于2014年10月正式獲得國家科技部批準立項。由上海計測工程設備監理有限公司牽頭，上海市計量測試技術研究院提供技術支撐。總經費7681萬元，其中中央財政專項經費投入3731萬元，截止日期為2018年10月。屆時，該項目將形成年產50臺生產能力，累計銷售收入5000萬元。
　　
　　立項目的是為突破我國在微納米檢測技術領域檢測方法集成開發的諸多技術瓶頸，攻克宏微聯動多軸驅動和多測頭集成、基于原子沉積光柵的納米量值溯源等關鍵技術，研制用于計量、工業生產、產品檢測中微形貌和幾何尺寸測量的微納米測量儀，并構建跨尺度、高精度微納米測量與研發平臺，為我國國防、航空航天、半導體制造業、微機電產業、大氣污染物防治等領域提供有效的納米計量技術的支持和保障，提升我國高新技術產業中微納米尺寸定量化測量的技術水平。
　　
　　此次中期檢查結果表明，“跨尺度微納米測量儀的開發和應用”的研制進程符合計劃任務書中的要求，已獲得成果跨尺度微納米測量儀1臺、核心關鍵部件3個以及新應用方法6種；形成了質量和可靠性保障方案2套，成套技術檔案文件3套；在研制過程中，發表論文32篇，申請國內26項（已授權9項），申請并授權計算機軟件著作權2項，項目經費使用合規。
　　
　　在聽完研究成果匯報后，評估小組還在現場檢查了項目研發的樣機，獲得一致認可。