【儀表網 儀表企業】2016年6月1日至7日，國家“十二五”科技創新成就展在北京展覽館隆重召開。此次展覽以“創新驅動發展，科技未來”為主題，共分為七個組成部分，其中國家科技重大專項（以下簡稱“專項”）作為第二部分的單元參展，向全國人民展示了“專項”五年以來攻克的一批關鍵技術，研制的一批裝備，推出的一批重大產品以及培育的一批具有競爭力的國內企業。6月3日，黨和、、張德江、俞正聲、劉云山、參觀了展覽。
　　

　　七星電子是“02專項”的重點承擔企業，先后承擔了多項12吋集成電路工藝設備開發，涵蓋90-14納米技術代，研制產品包括立式氧化爐、LPCVD（低壓化學氣相沉積）、銅互連單片清洗機、氣體質量流量控制器等。通過持續攻堅克難，七星電子 “02專項”項目在“十二五”期間取得累累碩果。

    12吋立式氧化爐采用了先進的MBTC控溫模型技術，大大提高了控溫精度、大限度地降低了熱預算，完成了集成電路大生產線驗證，實現了對國內主流集成電路芯片企業中芯、上海華力、武漢新芯等銷售，受到用戶的廣泛認可。12吋銅互連單片清洗設備采用了先進的兆聲波清洗技術，使顆粒去除效率高可達99%，產品已經完成大生產線驗證，實現了對中芯供貨。

    12吋LPCVD設備、12吋高溫爐設備、12吋硅材料清洗設備均在國內產線實現應用。質量流量控制器也完成用戶驗證，部分核心技術上達到先進水平，產品已批量供應中芯、上海華力等集成電路生產線及上海中微、北方微電子等集成電路設備制造商。“十二五”期間，七星電子立式爐和清洗設備在集成電路生產線實現配套12臺，其技術延伸應用于泛半導體產業，實現銷售500臺以上。氣體質量流量控制器實現半導體領域銷售逾萬臺，出口美國3000臺以上。
　　
　　七星電子重組標的-北方微電子是“02專項”項目重點承擔單位，先后承擔了12吋刻蝕機、PVD（物理氣相沉積）設備的開發，涵蓋100-14納米技術代，產品已經在國內集成電路生產線實現配套應用。本次展覽中，北方微電子重點展出了適用40nm至14nm技術代的金屬薄膜沉積設備，作為國產集成電路設備的成果代表，該產品已順利通過了中國大集成電路代工廠中芯的產品驗證并成為28納米生產線國產裝備中的首臺Baseline設備。

    目前北方微電子金屬薄膜沉積全系列產品已形成對集成電路、先進封裝、LED照明等領域安裝應用超過120臺套，獲得了包括中芯、上海華力、武漢新芯以及中國臺灣幾大主流集成電路大客戶的廣泛認可和信任。同時，北方微電子的HM PVD展品吸引了科技部部長萬鋼及中辦領導的關注，并對公司在集成電路裝備領域所取得的成果表示肯定。
　　
　　“十二五”時期，國家科技重大專項進展順利，形成了高水平的創新平臺和產業化基地，培養和凝聚了來自海內外的高素質人才隊伍，提升了企業和國家的創新能力，為我國戰略必爭領域突破重大核心技術、開辟新的產業發展方向、培育新的經濟增長點提供了有力支撐，為建設創新型國家和全面建成小康社會做出了積極貢獻。
　　
　　作為國內規模大的集成電路裝備制造商，七星電子將繼續奮發圖強，聯合產業上下游企業，與業界同仁一道，為我國集成電路裝備實現跨越式發展，早日實現“中國制造”貢獻自己的力量。
　　
　　（原標題：七星電子&北方微電子參加國家“十二五”科技創新成就展，親臨展臺）