【儀表網 發明科技控】“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測系統”項目日前順利通過現場驗收，將推動微納電子傳感器的研究。
　　

　　4月7至8日，中國科學院條件保障與財務局組織專家對中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所承擔的中科院科研裝備研制項目“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測系統”進行了現場驗收。
　　
　　驗收專家組聽取了項目工作匯報、財務報告、用戶報告及測試報告，現場查驗了研制裝備的運行情況，審閱了相關文件檔案及財務賬目。通過質詢討論，專家組一致認為該項目較好地完成了研制任務，主要技術指標達到或優于實施方案規定指標。并在此研制設備的支撐下取得了優異的科研成果，在《先進材料》等期刊發表了8篇SCI論文，申請了12項，相關獲得許可轉讓。專家組一致同意“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測系統”研制項目通過驗收。
　　
　　該項目針對微納電子傳感器件對高靈敏度、高時間/空間分辨率和綜合性的在線檢測需求，創新性地研制了原位實時檢測力學、化學、生物和光學等單一或復合量的高靈敏度多功能傳感檢測系統樣機。該系統主要是以自主研制的高精度新型微納電子傳感器陣列和MEMS電容式微納傳感探針為核心，以化/生/光/力微納米傳感器表征測試平臺、集成化分布式I/O模塊的電路和相關自動化控制軟件系統融合組成。該系統的研制成功地通過“化/生/光/力－納米尺度－信息”的學科交叉融合，在材料與器件的納米尺度效應、界面效應等特性表征和微納制造等微納傳感器基礎研究方面取得突破，為微納傳感器件的研究提供理論、設計、表征和制造奠定基礎，并形成了自主知識產權的檢測技術，將成為推動微納電子傳感器研究的重要科研裝備。