【儀表網(wǎng) 研發(fā)快訊】10月23日，2023年度上海市科學(xué)技術(shù)獎勵大會在上海展覽中心隆重召開。根據(jù)《上海市科學(xué)技術(shù)獎勵規(guī)定》(滬府令8號)，通過市科學(xué)技術(shù)獎評審委員會評審，市科學(xué)技術(shù)獎勵委員會審定，經(jīng)上海市人民政府批準，2023年度上海市科學(xué)技術(shù)獎授獎214項(人)。上海微系統(tǒng)所共獲3個獎項，2項技術(shù)發(fā)明一等獎，1項科技進步二等獎，分別為：由李昕欣，許鵬程，于海濤，陳瀅，李明，賈浩，王雪鳳團隊完成的“變溫諧振微懸臂梁的材料原位測量分析方法與科學(xué)儀器技術(shù)”項目榮獲“上海市技術(shù)發(fā)明一等獎”；由曹俊誠，譚智勇，黎華，萬文堅，王長，符張龍，韓英軍，邵棣祥，李子平，張真真團隊完成的“高性能太赫茲量子級聯(lián)激光器及儀器關(guān)鍵技術(shù)”項目榮獲“上海市技術(shù)發(fā)明一等獎”；由陳方團隊與上海航天控制技術(shù)研究所等合作單位團隊共同完成的“高性能MEMS陀螺及其系統(tǒng)應(yīng)用技術(shù)”項目榮獲“上海市科技進步二等獎”。
 

　　獲獎簡介
 

　　李昕欣研究員團隊針對材料理化特性表征用吸附分析/熱分析儀器缺乏高靈敏原位測量技術(shù)的共性問題，發(fā)明變溫諧振懸臂梁MEMS集成芯片和超靈敏原位測量技術(shù)，創(chuàng)新研發(fā)出國際首款界面熱力學(xué)動力學(xué)整套參數(shù)測量儀(ITKP)、首款可原位顯微聯(lián)用的微懸臂梁熱重分析儀(TGA)和首款原位測量的程序升溫脫附分析儀(in-situ TPD)等一系列成果鑒定為水平國際領(lǐng)先的科學(xué)儀器。使該類儀器實現(xiàn)了全新分析功能和測量精度的數(shù)量級提升，并在脫附活化能測量上顯著改進了現(xiàn)有儀器長期沿用的教科書經(jīng)典方法，在儀器芯片化換代提升的同時取得重要科學(xué)進步。成果轉(zhuǎn)化創(chuàng)建的廈門海恩邁科技有限公司已實現(xiàn)系列儀器產(chǎn)品銷售和推廣應(yīng)用，并將國產(chǎn)高端儀器反向出售給發(fā)達國家著名科學(xué)機構(gòu)。
 

　　“高性能太赫茲量子級聯(lián)激光器及儀器關(guān)鍵技術(shù)”
 

 

　　曹俊誠研究員團隊針對太赫茲頻段缺乏高品質(zhì)激光源和國產(chǎn)儀器的痛點，從結(jié)構(gòu)、材料、器件到模塊和儀器，全自主發(fā)展高性能太赫茲器件及成像儀器；研制大功率、低發(fā)散角太赫茲激光源，研發(fā)高速太赫茲寬譜探測技術(shù)，大幅提升成像速度；研制高性能實時成像儀，應(yīng)用于多種危險品分析與識別；研制近場顯微成像儀，將太赫茲輻射與物質(zhì)相互作用深入到亞微米尺度。研制的模塊化太赫茲器件成功應(yīng)用于中國空間站望遠鏡(CSST)太赫茲混頻探測本振源、我國首臺自由電子激光大科學(xué)裝置的太赫茲輻射檢測等。
 

　　“高性能MEMS陀螺及其系統(tǒng)應(yīng)用技術(shù)”項目榮獲“上海市科技進步二等獎”。
 

 

　　陳方副研究員團隊與上海航天技術(shù)研究所產(chǎn)學(xué)研用相結(jié)合，聚焦限制高性能MEMS陀螺和系統(tǒng)研制與應(yīng)用的核心瓶頸技術(shù)，以MEMS陀螺芯片、電路控制、系統(tǒng)應(yīng)用為任務(wù)主線，歷經(jīng)多年攻關(guān)，突破了一系列關(guān)鍵技術(shù)，大幅提升了國產(chǎn)MEMS陀螺及其慣性測量系統(tǒng)的技術(shù)水平。基于國產(chǎn)高性能四質(zhì)量塊MEMS陀螺儀裸片，研制了高性能MEMS陀螺及一系列慣性測量系統(tǒng)，產(chǎn)品性能達到了導(dǎo)航級。