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摘要根據國家市場監督管理總局下達的國家計量技術規范制修訂計劃,全國幾何量長度計量技術委員會已完成《自準直儀檢定規程》《掃描探針顯微鏡校準規范》的征求意見稿。

  【儀表網 行業標準】根據國家市場監督管理總局下達的國家計量技術規范制修訂計劃,全國幾何量長度計量技術委員會已完成《自準直儀檢定規程》《掃描探針顯微鏡校準規范》的征求意見稿。為使國家計量技術規范能廣泛適用和更具可操作性,現向全國有關單位及專家公開征求意見和建議。意見反饋郵箱:mtc2@nim.ac.cn。
 
  《自準直儀檢定規程》
 
  自準直儀是一種用于小角度測量的精密計量儀器。它與多齒分度臺配合使用,可用于測量正多面棱體、角度塊等角度量具。與正多面棱體配合可以用于測量多齒分度臺、轉臺等圓分度儀器。與平面反射鏡配合使用,可用于測量直線度、平面度、平行度、垂直度、楔角以及其他相對位置關系的測量要素。是角度計量中的重要儀器。按自準直儀瞄準方式不同可分為光學自準直儀和光電自準直儀,光電自準直儀按其讀數的方式不同又可分成指針式和數顯式。
 
  JJF 1002《國家計量檢定規程編寫規則》、JJF 1001《通用計量術語及定義》、JJF 1059.1《測量不確定度評定與表示》、JJF 1094—2002《測量儀器特性評定》共同構成支撐規程制修訂工作的基礎性系列規范。與 JJG 202-2007 相比,除了編輯性修改之外,本規程主要技術變化如下:
 
  ——增加 0 級自準直儀。
 
  ——刪除光電瞄準時靈敏度調節引起的指示表指零變化的計量性能要求,并刪除相應檢定方法。
 
  ——刪除自準直光束的平行度對示值的影響的計量性能要求,并刪除相應檢定方法。
 
  ——刪除光電自準直儀鑒別域的計量性能要求,并刪除相應檢定方法。
 
  ——增加光電自準直儀的示值跳動的計量性能要求。
 
  ——修改示值誤差要求、描述和檢定方法。
 
  ——刪除計量器具中的光學角規。
 
  ——刪除計量器具中的檢驗平尺。
 
  ——刪除計量器具中的專用光闌。
 
  ——修改檢定項目表。
 
  ——刪除附錄光電自準直儀用光學角規檢定方法。
 
  依據JJF 1002《國家計量檢定規程編寫規則》,本規范在架構上包括:范圍;引用文件;概述;計量性能要求;通用技術要求;計量器具控制以及附錄等內容。
 
  本規程適用于光電自準直儀、光學自準直儀的首次檢定、后續檢定和使用中檢查。其他類型的自準直儀亦可參考本規程。
 
  《掃描探針顯微鏡校準規范》
 
  掃描探針顯微鏡具有高分辨力、實時、原位成像等特征。對樣品無特殊要求,不受樣品的干燥度、形狀、硬度、純度等限制,可在大氣、常溫環境甚至是溶液中成像。廣泛應用于納米科技、材料科學、物理、化學和生命科學等領域。
 
  JJF 1071—2010《國家計量校準規范編寫規則》、JJF 1001—2011《通用計量術語及定義》、JJF 1059.1—2012《測量不確定度評定與表示》共同構成支撐本校準規范制定的基礎性系列規范。
 
  制定本規范的目的主要是解決工業中掃描探針顯微鏡校準問題。規范編制中參考了國際上納米計量領域的一些研究理論性研究成果,并以實際納米計量工作中的一些實驗數據為基礎制定了本規范。
 
  依據JJF 1002《國家計量檢定規程編寫規則》,本規范在架構上包括:范圍;引用文件;術語和計量單位;概述;計量特性;校準條件;校準項目和校準方法;校準結果表達;復校時間間隔以及附錄等內容。
 
  本規范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準。掃描探針顯微鏡根據其設計原理不同,校準時需要根據實際情況選擇相關的計量特性。對有特殊要求的測量任務,如對溯源要求較高的測量,不在本校準規范的適用范圍。

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