【儀表網 行業標準】近日，由廈門荷清教育咨詢有限公司 、廈門大學等單位起草，TC38(全國微束分析標準化技術委員會)歸口的國家標準計劃《表面化學分析 俄歇電子能譜 選擇儀器性能參數的表述》征求意見稿已編制完成，現公開征求意見。
全球有多家廠商生產俄歇電子能譜儀(AES)和掃描俄歇電子顯微鏡(SAM)。盡管每臺儀器的 AES 分析方法的基本原理是相同的，但儀器的具體設計和性能說明的方式各不相同。因此，通常很難比較不同廠商生產的儀器性能。本文件提供一個基本項目單，以使所有俄歇電子能譜儀能以共同的方式來表述。本文件無意取代廠商的說明書，廠商的說明書可以長達 30 頁或更多。本文件目的是使廠商說明書中確定的某些項目具有一致和明確的含義。
本文件按照GB/T 1.1—2020《標準化工作導則 第1部分：標準化文件的結構和起草規則》的規定起草。
本文件代替GB/T 25187—2010《表面化學分析 俄歇電子能譜 選擇儀器性能參數的表述》，與GB/T 25187—2010相比，除結構調整和編輯性改動外，主要技術變化如下：
a) 更改了術語和定義(見第3章，2010年版的第3章)；
b) “空間分辨”更改為“橫向分辨”(見5.5，2010版的5.5)。
本文件給出了表述俄歇電子能譜儀特定性能參數的要求。
橫向分辨和束流
方法 1
應分析的樣品有一個小于儀器標稱的橫向分辨的 30%的特貌區。該區的特征俄歇電子信號掃描線的 FWHM 定義為橫向分辨。特征信號從最大值的 50%升至 100%再降至 50%的兩點間距離規定為橫向分辨。
方法 2
應分析樣品由兩種材料組成，其表面在同一平面上且沿一公共直邊相連結。當與該公共直邊成 90°角方向測量時，這兩種材料之一的特征俄歇電子強度的譜線被用于定義橫向分辨。在遠離公共直邊的平臺區俄歇電子強度之差從 20%變化到 80%的兩點間距離定義為該掃描方向上的橫向分辨。
方法 3
待分析的樣品具有某一材料的刃邊，該刃邊在樣品平面上覆蓋住一個深度超過其直徑 5 倍的小孔的半邊。與刃邊成 90°角方向測量時，刃邊材料的特征俄歇電子強度的掃描線用以定義橫向分辨。在離開刃邊的平臺區的俄歇電子強度差值從 20%變化到 80%的兩點間距離定義為該掃描方向上的橫向分辨。
譜儀強度性能和能量分辨
方法 1
噪聲定義為對 970eV 和 994eV 間等能量間隔進行 121 次獨立測量所得本底強度值的rms 偏差，每道測量收譜時間為 1 s，通道間隔約為 0.2 eV。rms 偏差是測量強度與其最小二乘法擬合直線的離差計算得到的。
方法 2
噪聲定義為 975 eV 處 121 個樣品的本底強度與其均值離差的 rms 偏差，其每次測量數據收集時間為 1 s。
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